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エタノールやアルコールから、基板に垂直配向したカーボンナノチューブが成膜できる！
主にエタノールを炭素原料として用いた簡易型カーボンナノチューブ合成装置 ◆特徴◆ ・各種基板（シリコン・石英・チタン・ステンレス・セラミックス他）に 垂直配向したカーボンナノチューブが成膜できる ・全プロセスは２０分程度 ◆オプション ＣＶＤ原料導入用 ＳＵＳチャンバー （液体燃料導入ポート・ 炭化水素ガス導入ポート・還元ガス導入ポート・予備ポート） 追加電源セット（電源・ヒーターユニット） 放射温度計 各種安全機構
優れた膜厚分布および再現性を実現！基板プラズマクリーニングシステム搭載
『カーボンナノチューブ合成装置』は、優れた基板温度分布および ガスフロー方式を実現します。 全自動でCNT合成が可能。 基板プラズマクリーニングシステム搭載しています。 マルチチャンバ仕様や各種オーダーメイドも製作できますので、 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■全自動でCNT合成が可能 ■基板プラズマクリーニングシステム搭載 ■優れた基板温度分布およびガスフロー方式を実現 ■優れた膜厚分布および再現性を実現 ■豊富な蓄積データ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
小型！簡便！低価格な製品です！
『MPCNT-160 BASIC』は、エタノールを炭素原料として用いた、 簡易型のカーボンナノチューブ合成装置です。 各種基板上に垂直配向カーボンナノチューブを合成することが可能です。 シリコン・石英・チタン・ステンレス・銅・セラミックスに 垂直配向したCNTを直接成長させ、還元ガスを使用せずにCNTが製作可能です。 オプションとして、炭化水素ガス等も導入可能です。 試験研究用装置として、お気軽にご使用下さい。 【特長】 ■簡易型 ■卓上型 ■還元ガスを使わずCNTの製作可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
