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ガラス自動現像装置×株式会社ラットコーポレーション - 企業1社の製品一覧

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エマルジョンガラス自動現像機EL-GP

独自の制御システムにより、パターンの再現性を実現出来る

『エマルジョンガラス自動現像機EL-GP』は、 6槽の処理槽・ローダ/アンローダ間にエマルジョンマスクを 移動させる搬送用ロボットと、自動液補充システムを備えた ガラスマスク用自動現像装置です。 タッチパネルを用いて処理条件の設定が可能です。 ローダには5枚(標準)のエマルジョンマスクの収納が可能です。 ローダにセットすると、自動で連続処理します。 【特長】 ■独自の処理制御システムにより面内の現像処理の均一性を実現 ■複数モードの液補充システムの採用で安定した処理再現性を実現 ■超コンパクト設計で、小サイズのクリーンルーム内に設置可能 ■描画機に隣接するなどワークフローを大幅に改善できる ■省液化により、廃液量も減少し、環境に優しい 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • フォトマスク

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