独自の制御システムにより、パターンの再現性を実現出来る
『エマルジョンガラス自動現像機EL-GP』は、 6槽の処理槽・ローダ／アンローダ間にエマルジョンマスクを 移動させる搬送用ロボットと、自動液補充システムを備えた ガラスマスク用自動現像装置です。 タッチパネルを用いて処理条件の設定が可能です。 ローダには5枚（標準）のエマルジョンマスクの収納が可能です。 ローダにセットすると、自動で連続処理します。 【特長】 ■独自の処理制御システムにより面内の現像処理の均一性を実現 ■複数モードの液補充システムの採用で安定した処理再現性を実現 ■超コンパクト設計で、小サイズのクリーンルーム内に設置可能 ■描画機に隣接するなどワークフローを大幅に改善できる ■省液化により、廃液量も減少し、環境に優しい 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ・仕様】 [EL-GPＩ] ■サイズ（本体）：幅1,200×長さ1,950×高さ2,090mm ■対応最大ワークサイズ：508×610ｍｍ ■処理方式：1アームバッチ処理 ■タクトタイム：20～25分/枚 ■処理制御：自動処理条件管理システム・自動補充システム ■処理槽容量：約30L [EL-GPII] ■サイズ（本体）：幅2,200×長さ3,000×高さ2,600mm ■対応最大ワークサイズ：508×610mm ■処理方式：カセット式ローダ・アンローダ（標準5枚）を装備し、 2アーム搬送系で連続同時処理により、タクトタイムの短縮を実現 ■タクトタイム：20～25分/枚 ■処理制御：自動連続処理システム・自動処理条件管理システム・自動補充システム ■処理槽容量：約50L ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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