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センサ部はセラミックによる一体構造で、優れた再現性、安定性。【アルバック／ULVAC】
CCMT-D シリーズは、セラミック（アルミナ）でできた隔膜が気体の圧力変化により変形し、それにともない変化する静電容量から圧力を検出するキャパシタンスマノメータです。 センサ部はセラミックによる一体構造ですので、優れた再現性、安定性を備えており、低・中真空領域の圧力をガスの種類に関係なく（絶対圧真空計）、精度良く測定出来ます。 【特徴】 ○長期間にわたる安定製性 ○セラミック膜の採用による、優れた耐腐食性 ○温度補償回路内蔵タイプ ○汚れからセンサを保護する構造を新規採用 ○プッシュボタンによる0点調整が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
優れた長期安定性でプロセスの再現性を実現！キャパシタンスマノメータ
『Baratron600シリーズ』は、苛酷なプロセス環境においても正確で 再現性の高い圧力、真空測定が可能なように設計されたRoHS対応の 絶対圧型キャパシタンスマノメータです。 最も安定性の高い低圧測定圧力トランスデューサとして利用されています。 【特長】 ■最小2.66PaF.S.を実現 ■ガスの成分に関係なく、トータル圧力を直接測定 ■読みの％精度で、1×10-4F.S.まで測定 ■最高200℃温度制御タイプからセットポイントリレー付きまで各種ラインナップ ■オールInconel又はIncoloyニッケル合金の耐腐食性構造 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空チャンバー内の圧力を絶対圧として測定できる！
真空チャンバー内の圧力を 絶対圧として測定する事が可能な、キャパシタンス・マノメータ 【特徴】 ○真空圧を絶対圧として測定可能 ○接ガス部はインコネルで、耐腐食性に優れる ○ガス種に関係なく、トータル圧力が測定可能 ○独自のセンサー構造の採用によりゼロ安定性 信頼性、精度が著しく向上 ○優れた長期再現性 ○2年間保証 ○汎用型タイプと自己加熱型タイプをご用意 ○Device Net、RS485でのデジタル通信が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
汎用型キャパシタンスマノメータ CDLD
真空チャンバー内の圧力を 絶対圧として測定する事が可能な、汎用型キャパシタンスマノメータ 【特徴】 ○真空圧を絶対圧として測定可能 ○接ガス部はインコネルで、耐腐食性に優れる ○ガス種に関係なく、トータル圧力が測定可能 ○独自のセンサー構造の採用によりゼロ安定性 信頼性、精度が著しく向上 ○優れた長期再現性 ○2年間保証 ○Device Net、RS485でのデジタル通信が可能 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
高温動作によりゼロ点シフトを低減、CVD, Etch, ALDに！
「DA03A」は、RoHS対応のデジタル高温タイプBaratron（R）キャパシタンスマノメータです。 高温で動作することによりセンサ内部へのプロセス副生成物の堆積を最小限に抑えます。 これにより副生成物堆積によって生じる出力ドリフトをほぼ無くします。 150℃または160℃の動作温度で使用でき、メタルエッチングや絶縁膜CVDのような半導体製造における最も必要とされかつ環境の厳しい真空プロセスでの使用が可能です。 【特長】 ■150℃、160℃高温動作可能 ■オールlnconelのキャパシタンスセンサ ■コンパクト設計による省スペース ■ガス種によらない安定性能 ■EU用RoHS適合 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
デジタル・キャパシタンスマノメータ XacTorr
高温加熱型タイプもご用意 Device Net対応のキャパシタンスマノメータ 【特徴】 ○独自のセンサー構造（マイクロリス Mark?Wセンサー） ○ダイヤフラムをコンタミネーションから保護 ○外気温変化に対する出力値への影響を低減 ○デュアルゾーン温度制御 ヒータを2分割,各々デジタル温度制御することにより 均一性・追従性向上 ○デジタル回路構成 Device NetとRS485によるデジタル通信対応 ポテンショメータを排除、アナログ部品点数減少により 経時変化低減と信頼性向上 ○GUIソフトウエア診断機能によるメンテナンス性向上 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
