センサ部はセラミックによる一体構造で、優れた再現性、安定性。【アルバック／ULVAC】
CCMT-D シリーズは、セラミック（アルミナ）でできた隔膜が気体の圧力変化により変形し、それにともない変化する静電容量から圧力を検出するキャパシタンスマノメータです。 センサ部はセラミックによる一体構造ですので、優れた再現性、安定性を備えており、低・中真空領域の圧力をガスの種類に関係なく（絶対圧真空計）、精度良く測定出来ます。 【特徴】 ○長期間にわたる安定製性 ○セラミック膜の採用による、優れた耐腐食性 ○温度補償回路内蔵タイプ ○汚れからセンサを保護する構造を新規採用 ○プッシュボタンによる0点調整が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○セラミックセンサの採用 →優れた耐腐食性 →長期間にわたる安定性 →大気投入後、安定するまでの時間を大幅短縮 ○絶対圧測定が可能 →ガス種に依存しない全圧測定が可能 ○ウォームアップ時間の短縮 →電源投入後、安定するまでの時間を大幅短縮 ○温度補償 →温度補償回路内蔵タイプ ○プロテクション機能 →汚れからセンサを保護する構造を新規採用 ○0点調整が簡単 →プッシュボタンによる0点調整が可能 ○測定値出力信号 →正確なリニア出力（DC0 ～ 10Ｖ） ○電源電圧 →幅広い入力電源電圧を採用（DC14 ～ 30Ｖ） ○小型・軽量センサ →質量329ｇ（パイプエンド仕様）のコンパクトサイズ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○真空溶解、真空熱処理などの真空炉の圧力モニタに ○成膜装置のプロセス中の圧力モニタに ○加圧還元炉などの加圧真空システムに ○ガス置換、ガス封入などの圧力モニタに ○太陽電池などの各種製造装置の圧力モニタに ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。