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センサ部はセラミックによる一体構造で、優れた再現性、安定性。【アルバック／ULVAC】
CCMT-D シリーズは、セラミック（アルミナ）でできた隔膜が気体の圧力変化により変形し、それにともない変化する静電容量から圧力を検出するキャパシタンスマノメータです。 センサ部はセラミックによる一体構造ですので、優れた再現性、安定性を備えており、低・中真空領域の圧力をガスの種類に関係なく（絶対圧真空計）、精度良く測定出来ます。 【特徴】 ○長期間にわたる安定製性 ○セラミック膜の採用による、優れた耐腐食性 ○温度補償回路内蔵タイプ ○汚れからセンサを保護する構造を新規採用 ○プッシュボタンによる0点調整が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
半導体センサーを用いたデジタルマノメーター
半導体センサーを用いた卓上型の真空計です。コンパクトで使いやすく、再現性に優れています。 DM-10S型は絶対圧表示の真空計で、水銀を含むＵ字型真空計、ベネット型真空計等の代替品として利用できます。 DM-20S型はゲージ圧表示の負圧計です。大気圧を0として、それを基準に真空度が高くなるにつれ、デジタル数値がマイナスで加算表示します。 ★水銀汚染防止法施行 2017年8月、「水銀に関する水俣条約」が正式に発効され、日本では水銀汚染防止法が施行されました。 水銀を含む製品（電池、一部蛍光灯、高圧水銀灯、スイッチ・リレー、温度計等計測機器）で代替可能な製品が存在する場合、基本的に2020年以降、製造及び輸出入が制限されます。
優れた長期安定性でプロセスの再現性を実現！キャパシタンスマノメータ
『Baratron600シリーズ』は、苛酷なプロセス環境においても正確で 再現性の高い圧力、真空測定が可能なように設計されたRoHS対応の 絶対圧型キャパシタンスマノメータです。 最も安定性の高い低圧測定圧力トランスデューサとして利用されています。 【特長】 ■最小2.66PaF.S.を実現 ■ガスの成分に関係なく、トータル圧力を直接測定 ■読みの％精度で、1×10-4F.S.まで測定 ■最高200℃温度制御タイプからセットポイントリレー付きまで各種ラインナップ ■オールInconel又はIncoloyニッケル合金の耐腐食性構造 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
安定性に優れた微差圧センサーにより高い精度で差圧計測が可能
・2つの場所の圧力の差を表示することができます。 ・ハンディタイプのデジタル式で、携帯に便利です。 ・オプションのピトー管を使用すれば、風速・風量の計算と表示が可能です。 表示部はLCDフルカラーディスプレイです。 ・計測データはPCへの接続なしで、USBメモリに 直接データ転送（エクセルCSV）が可能です。
ハンディマノメータ PG-100N
【主な仕様】 (1) 定格圧力レンジ ゲージ圧：±10kPa、±100kPa、-100〜1000kPa (2) 使用温度範囲 0〜50℃（動作・補償温度） (3) 電源 単四型乾電池（マンガン, アルカリ, ニッケル水素） 2本 (4) 動作時間 1000時間以上（アルカリ電池） (5) 表示 3・1/2 桁 LCD表示 (6) 表示回数 約 3回/秒 (7) 表示精度 ±1.5%FS±2Digits（101R ）, ±1.0%FS±2Digits（102R, 103R） (8) アナログ出力（オプション） 外部供給電源：5±0.5VDC, 5mA以下 電圧出力/精度：±1000mV/10mV (9) 継手 M5メネジ/付属アタッチメント2種：ハーフユニオン（外径 φ6チューブ用） バーブ継手（外径 φ6×内径 φ4 チューブ用） (10) 外形寸法 55×110×16.9（mm）
いつでもどこでも圧力チェック！スリムで軽い、携帯タイプの圧力センサに液圧対応タイプも新たに登場
ハンディマノメータ「PG-100Bシリーズ」は、電池内蔵型で、気体のみならず液体の圧力チェックや圧力監視用にも対応した、画期的な携帯タイプの圧力センサです。 感圧素子として拡散型半導体素子、ダイアフラムにSUS316L、またデジタル温度補償回路を採用し、小型軽量、高精度、高耐食性を実現、また、専用マイコン搭載により、ゼロアジャスト、オートパワーオフ、単位切替（海外向け）など、機能の充実化を図っております。 また、本体保護の目的で保護カバーを標準装備。電源には市販の単4 形乾電池（2本）を使用し、専用コネクタでアナログ出力にも対応しております。
データの保存・出力対応のハンディ圧力計測器。カラータッチパネルで操作性も良好
『HT-1700シリーズ』は、タッチパネル式のカラーディスプレイを搭載し、 優れた操作性・視認性が特長のデジタルマノメーターです。 ガス配管の正圧・負圧・差圧測定のほか、幅広い圧力への対応で、 クリーンルームや医療機器の圧力チェックが可能なタイプもラインアップ。 重量はわずか340gで充電池式のため、持ち運びやすく、 本体へのデータ保存やPC接続によるエクスポートにも対応しています。 【特長】 ■タッチパネル式カラーディスプレイ搭載 ■USB接続によるPCへのデータエクスポートに対応 ■自動・連続計測にも対応 ■分解能0.01hPa～0.1hPa ■プローブ追加により温度計測にも対応可能 ※詳しくは、『PDFダウンロード』より資料をご覧ください。
空圧機器の測定や制御用の圧力計でレンジは０～０．５ｋＰａから８００ｋＰａまでのゲージ圧／差圧／真空／絶対圧／連成圧があります。
シリーズ１０／２０は受圧部に半導体圧力センサを使用したローコストの空圧機器の測定制御用デジタルマノメータです。卓上型とパネル取付型が用意されており使用場所に応じて選択できます。豊富な圧力レンジと測定モードが用意されているので各種製造、検査、自動化装置への組み込みに対応出来ます。精度は標準モデルが±０．３５％ＦＳ、高精度モデルが±０．１５％ＦＳが用意されています。圧力表示は大きな赤色ＬＥＤを採用しており見やすく、出力電圧は圧力に比例した応答性の速いアナログ信号です。出力信号は変動圧の連続記録やシステムへの制御信号として利用できます。又、ステンレスダイアフラムの圧力センサを使用したＳＳ１０／２０シリーズと表示器電源が電池式のＢ１０シリーズも用意されています。
気圧レンジは気象庁検定合格品の提供も可能！最高精度のデジタル圧力計です。
卓上型パネル取付型が用意されています。圧力センサはセトラ社の高精度圧力センサＭ２７０シリーズのセンサを使用し製作されます。絶対圧、ゲージ圧レンジは精度０．０６％ＦＳ。気圧レンジは精度０．３ｈＰａの高精度で計測でき、気象庁検定合格品の提供も可能です。センサ部は温度安定性、長期安定性に優れたセラミックのセトラセラムセンサを使用しています。フルスケールレンジに対応したアナログ信号を使用し高精度を必要とする各種の製造、検査、自動化装置への組み込みに対応できます。上下限警報接点付や各種オプションにも対応できます。 その他詳細は資料請求もしくはカタログダウンロードください。
腐食性ガス対応デジタルマノメーター ＳＳ１０／ＳＳ２０
ＳＳ１０／ＳＳ２０シリーズは、ステンレスのダイアフラフをもつ半導体圧力センサを使用した液体や腐食性ガス圧の測定、制御用のデジタルマノメータです。卓上型とパネル取付型やセンサ内蔵、外付け型が用意されており使用場所、使用用途に応じて選択できます。豊富な圧力レンジが用意されているので各種製造、検査、自動化装置への組み込みに対応出来ます。圧力に比例した応答性の速いアナログ信号で、変動圧の連続記録やシステムへの制御信号として利用できます。。
高精度なデジタルマノメータ！検査用、研究開発用として実績多数
＜特徴＞ ■セトラ社のレゾナントキャパシタンス型圧力センサ ■センサ部は６３０ステンレス鋼の丈夫な一体型構造 ■センサ部にＯリングや溶接部がないので、リークや汚染の心配がなく、真空から高圧までの測定が可能 ■±0.1%FSの高精度 ■コンパクトなケースに大型ＬＥＤ表示を採用 ■センサ外付型が標準、内蔵は特注、用途により選択可 ■上下限警報接点付は35型/45型 ■絶対圧、ゲージ圧、連成圧、負圧の測定モード ■フルスケールレンジに応じたアナログ出力を標準装備 その他詳細は資料請求もしくはカタログダウンロードください。
ゲージ管（ガラス管）内に、水、水銀などの液体を入れ、液柱（液面）の高さを読みとるものです。
ゲージ管（ガラス管）内は通連管になっており、測定対象物により、差圧、ゲージ圧などの圧力を計測します。
マノメータ本体を傾斜させることにより液柱差の微小な差圧を拡大して読取ります。
液圧を精密測定するために目盛板及びゲージ管を傾斜させ液柱ヘッドを傾斜目盛板上で拡大目盛として読むことができる卓上型の精密マノメータです。
真空チャンバー内の圧力を絶対圧として測定できる！
真空チャンバー内の圧力を 絶対圧として測定する事が可能な、キャパシタンス・マノメータ 【特徴】 ○真空圧を絶対圧として測定可能 ○接ガス部はインコネルで、耐腐食性に優れる ○ガス種に関係なく、トータル圧力が測定可能 ○独自のセンサー構造の採用によりゼロ安定性 信頼性、精度が著しく向上 ○優れた長期再現性 ○2年間保証 ○汎用型タイプと自己加熱型タイプをご用意 ○Device Net、RS485でのデジタル通信が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
汎用型キャパシタンスマノメータ CDLD
真空チャンバー内の圧力を 絶対圧として測定する事が可能な、汎用型キャパシタンスマノメータ 【特徴】 ○真空圧を絶対圧として測定可能 ○接ガス部はインコネルで、耐腐食性に優れる ○ガス種に関係なく、トータル圧力が測定可能 ○独自のセンサー構造の採用によりゼロ安定性 信頼性、精度が著しく向上 ○優れた長期再現性 ○2年間保証 ○Device Net、RS485でのデジタル通信が可能 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
アナログ出力付き
測定範囲ローレンジ0.000?1.999kPa、 ハイレンジ0.00?19.99kPaのハンディタイプの差圧計
ハンディタイプの小型のデジタルマノメーターです。
ゲージ圧計測、差圧計測に、正圧・負圧・差圧の計測に使用可能な、ハンディタイプの小型のデジタルマノメーターです。用途に合わせて4タイプご用意しています。 ※用途に合わせて下記より一種選択してください。 ・HT-1500NS:-99.9Pa〜+99.9Pa ・HT-1500NL :-29.9hPa〜+29.9hPa ・HT-1500NM :-199.9hPa〜+199.9hPa ・HT-1500NH :-749hPa〜+1499hPa
-34.48 kPa〜+34.48 kPaの範囲で微差圧を測定できます。
微差圧の単位は kPa, mbar, bar, psi, kgc, mmHg, inHg, cmH2O, ftH2O,inH2O, ozin2の11種類で表示できます。DT-8890はゼロ校正機能、最高値・最低値・平均値メモリー、ホールド、変化値表示機能があります。また、セットに付属している解析ソフトとUSBケーブルを使用して、測定中の微差圧データをパソコンにリアルタイムで転送できます。
-3.447 kPa 〜+3.447 kPa の微差圧を測定可能です。
微差圧の単位は kPa, mbar, bar, psi, kgc, mmHg, inHg, cmH2O, ftH2O, inH2O, ozin2の11種類で表示することができます。また、DT-8890Bは、ゼロ校正機能、最高値・最低値・平均値メモリー、ホールド、変化値表示機能付きです。セットに付属している解析ソフトとUSBケーブルを使用して、測定中の微差圧データをパソコンにリアルタイムで転送することができます。
高温動作によりゼロ点シフトを低減、CVD, Etch, ALDに！
「DA03A」は、RoHS対応のデジタル高温タイプBaratron（R）キャパシタンスマノメータです。 高温で動作することによりセンサ内部へのプロセス副生成物の堆積を最小限に抑えます。 これにより副生成物堆積によって生じる出力ドリフトをほぼ無くします。 150℃または160℃の動作温度で使用でき、メタルエッチングや絶縁膜CVDのような半導体製造における最も必要とされかつ環境の厳しい真空プロセスでの使用が可能です。 【特長】 ■150℃、160℃高温動作可能 ■オールlnconelのキャパシタンスセンサ ■コンパクト設計による省スペース ■ガス種によらない安定性能 ■EU用RoHS適合 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
デジタルマノメーター／品番 MF13T-1500NLH
正圧・負圧・差圧の計測が可能な手の平に収まる小型のデジタルマノメーターです。計測単位の切換えや、最大値・最小値の表示、値を止めて見ることのできるHOLD機能など、従来品にはなかった便利な機能を兼ね備えています。
ポータブルデジタルマノメーター（±200Pa）／ 品番 M1073PDPG-3110K
高機能のポータブル型差圧デジタルマノメーターです。 測定レンジは4種から選択でき、測定単位は、Pa・kPaのデジタル表示に加えて、mbar・mmH2O・inH2Oでの表示や温度及び流量表示も対応可能なため、様々なアプリケーションでお使いいただけます。
微差圧デジタルマノメータ １３０／１４０ シリーズ
卓上型パネル取付型が用意されています。圧力センサはセトラ社のＭ２３９シリーズの圧力センサを使用し製作されます。全ての圧力レンジを測定精度０．２％ＦＳと高精度で計測できます。センサ部は静電容量方式で迅速なウォームアップ特性で温度影響極はきわめて小さく、微小な圧力変化を高速で高感度で計測する事ができます。一方向、二方向の圧力レンジを用意しています。フルスケールレンジに対応したアナログ信号を使用し各種の製造、検査、自動化装置への組み込みに対応できます。上下限警報接点付や各種オプションにも対応できます。 その他詳細は、資料請求もしくはカタログダウンロードください。
LCD表示機、ピークホールド、圧力単位切り替えなど各種機能を多数搭載
DMR5シリーズは、ピエゾ圧力センサーを内蔵した気圧用のデジタルマノメータ（デジタル微差圧計）で、LCD表示機や、ピークホールド、圧力単位切り替えなど各種便利な機能を多数搭載し、空気または非可燃性ガスの微圧の正圧、負圧、達成圧、微差圧の安定した計測が可能です。リチュウム電池式とDCもしくはACの電源式の両タイプがあり、電源式は指示機能以外にも、アナログ出力やリレー出力があり、ご要望に応じたカスタマイズなども可能です。比較的コストを抑えた商品ですが、多くの機能とオプション仕様を用意しており、尚且つ信頼性の高い精度を有します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
ジャンパーピン設定を変えるだけで1機種で3つのレンジ切替が可能な微差圧計！
DMR３シリーズは、ダイヤフラムと磁気抵抗素子を利用した高精度の気圧用デジタル表示付き微差圧トランスミッターで、LCD表示機能と4-20mAのアナログ電流出力機能を搭載したマルチレンジのデジタル微差圧計です。 空気または非可燃性ガスの微圧の正圧、負圧、連成圧、微差圧の安定した計測が可能。 温度係数が小さいため優れた安定性能を有し、アナログ電流出力はレンジ機種毎に、ジャンパーピン設定を変えることで、３つのレンジ可変が出来る機能が特徴です。 【特徴】 ■センサーに磁気抵抗素子を利用 ■測定レンジは0～25Paから3kPa ■1機種で3つのレンジ切替が可能 ■すぐれた安定性 ■LCD液晶による圧力表示 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
ゲージ管（ガラス管）内に、水、水銀などの液体を入れ、液柱（液面）の高さを読みとるものです。
ゲージ管（ガラス管）内は通連管になっており、測定対象物により、差圧、ゲージ圧などの圧力を計測します。
