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優れた再現性で測定が可能！熱源（フィラメント）を持たない真空計
『M-320XG』は、大気圧から1×10^-2Paまでの広い範囲にわたって、 信頼性の高い測定ができるクリスタルゲージです。 水晶振動子の共振インピーダンスが圧力に応じて変化するという現象を利用し、 はるかに再現性が高く、また大気圧付近での安定性の高い測定が可能。 あら引きゲージとしての用途以外に、チャンバの大気圧ベントの検出用の 圧力スイッチとして、またプロセス圧力の測定などにも使用が可能です。 【特長】 ■大気圧から10^-2Paまで、優れた再現性で測定 ■熱源（フィラメント）を持たない ■取り扱いが安全な上、プロセスガスに影響を与えない ■コントローラ部は、手のひらサイズ、質量はわずか200g ■環境に配慮した少ない消費電力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
圧力単位はPa、Torr、mbarの中から任意に選択！広範囲の圧力測定が可能
『クリスタルゲージ』は、1つのゲージヘッドで8桁の圧力測定が可能です。 表示部は液晶表現を採用、圧力はデジタル(仮数部3桁、指数部1桁)と アナログ(30セグメント棒グラフ)を同時表示。 また、温度補償、アナログ出力の選択、校正、気体単位の選択、 セットポイント、リークテスト及びセンサー温度表示等の機能は フロントパネルからアクセス可能です。 【特長】 ■1つのゲージヘッドで0.01x10^-1～1.33x10^5Paの8桁の圧力測定が可能 ■マイクロプロセッサにより校正曲線を算出、各種気体の圧力を直読可能 ■2つの不揮発性セットポイントを標準装備(オプションで6点まで可能) ■リークテスト機能により1x10^-5atm・cc/sec以上のリークを検出 ■ゲージヘッドは小型・軽量で取付位置の制限なし ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
