クリーン圧力センサ(温度制御) - 企業1社の製品一覧

セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２４シリーズ

特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサ

セトラ社のモデル２２４は特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサです。 　モデル２２４はパージ効果の高い流線型のセンサチャンバを持ち、ガスの流れによる瞬時の温度変化の条件下でも優れた安定性を実現するように設計されています。

• 企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
• 価格：応相談

• CVD装置
• エッチング装置
• 圧力制御