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モデル224シリーズ

最終更新日:2025年03月26日

エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 コンポーネンツ機器部
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 コンポーネンツ機器部
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特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサ

セトラ社のモデル224は特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサです。  モデル224はパージ効果の高い流線型のセンサチャンバを持ち、ガスの流れによる瞬時の温度変化の条件下でも優れた安定性を実現するように設計されています。

    CVD装置エッチング装置圧力制御
224.jpg

セトラ社 ウルトラクリーン圧力センサ モデル224シリーズ

224.jpg
224.jpg
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基本情報

センサチャンバは316L(VAR材)を0.18Raに電解研磨されおり独自の静電容量センシング技術で高精度で安定した出力信号を供給します。 オプションで多様なチューブ内径と面シール継手が用意されています。 堅牢な構造で配管のねじれ、溶接時の熱衝撃など組み付け時のトラブルを減少させます。 また85℃までのベーキング処理が可能です。全品ヘリウムリークテストを実施しています。

価格情報

-

納期

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用途/実績例

用途・特徴 ○特殊ガス供給システム ○ガスキャビネット ○半導体製造プロセス ○高圧液クロマトグラフィー ○堅牢な構造で高い破壊耐圧でトルク影響が少ない ○高いパージ効果、優れた温度特性 ○優れたEMI/RFI特性、CEマーク対応 、

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セトラ社 ウルトラクリーン圧力センサ モデル224シリーズ

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セトラ社 ウルトラクリーン圧力センサ モデル225シリーズ

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エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 コンポーネンツ機器部

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エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社は、産業界での計測・制御の分野でもっとも重要な圧力と流量をテーマに優れた計測/制御機器を扱っております。 圧力計測においては、米国セトラ社の日本代理店として、長年にわたり数多くの圧力センサを国内に供給しております。セトラ社の圧力センサは高精度・高感度を特徴としており、半導体製造装置をはじめ、多くの先端技術に採用されています。又、あらゆる産業の圧力測定場面で対応出来るように他にもBD社やHoneywell社などの製品も扱っています。 これらの圧力センサを内蔵、もしくは外付けしたデジタル圧力計の製造もおこなっています。 社内には、国家標準にトレーサビリティーを持つ各種の圧力基準器が厳密に空調された校正検査室に設置されていますので、検査/再校正を社内にて行うことができます。 流量に関しては、液体/気体(マスフロー)どちらもユニークで高付加価値な製品を取り扱っています。 液体用は小型で安価、高精度なタービン式を中心にコリオリ式流量計もございます。 製薬・医薬製造向けのディスポーサブルセンサ、食品・飲料向けの規格取得のセンサなど、多様なニーズにお応えします。

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