Lゲートバルブ SERIES 92.0
半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプ/チャンバー用真空遮断バルブ
-パーティクル発生が少ない -メンテナンスが容易 -低コスト
- 企業:VAT株式会社
- 価格:応相談
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半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプ/チャンバー用真空遮断バルブ
-パーティクル発生が少ない -メンテナンスが容易 -低コスト
大手装置メーカー様にゲートバルブ製品数千台の納入実績あり! 半導体Φ300mm/液晶G10_3000mmサイズにも対応可能!
大型マシニングセンタにより、深堀形状となるゲートバルブ本体や構成製品を、高精度に製作致します。 これまで多数の製品を出荷し、大手製造装置メーカー様より高い評価をいただいております。 半導体・液晶製造装置に欠かせないゲートバルブ製品を高精度に 製作致します。 また真空チャンバーや上部・下部電極などチャンバー内パーツについても 製作実績がありますので、あわせてご相談ください。 【製品紹介】 ■液晶製造装置用ゲートバルブ本体 ■ゲートバルブ製品に必須なアリ溝加工やシール面加工、ヘール加工も高精度に加工致します。 ■液晶製造装置G10_3000mm超などの非常に大きな開口サイズでも対応可能です。 ■実績:約20年間で数千台の加工実績があります。 見積・製作のご依頼に関しては、お気軽にお問い合わせください。 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。
上質なソリューションと先進技術を活用し、お客様と緊密に連携し、現実世界の課題を解決する製品を開発しています
当社は、品質、納期、コストパフォーマンスにおいて顧客満足度の業界 標準を確立する製品、ソリューション、そしてサービスを提供することに 尽力している企業です。 ゲートバルブ類・フランジ・ビューポート・フィードスルー・真空チャンバー等、 真空機構を必要とされる製造装置、機器等用の各種真空用部品の取扱いを実施。 また、アングルバルブやバタフライバルブ、インラインバルブ/リークバルブ、 ガス配管などもございます。他にも取り扱っておりますので、 製品に関しては、お問い合わせください。 【市場ソリューション】 ■産業と研究 ■半導体 ■航空宇宙および防衛 ■ライフサイエンスと医療 ■契約製造 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。