シリコンウェハ×株式会社アイテス - メーカー・企業と製品の一覧

【EBSDによる解析例】シリコンウエハ

測定したシリコンウエハは単結晶！IPFマップ、極点図、逆極点図は比較的シンプルな結果になりました

EBSDで解析したシリコンウエハの事例をご紹介いたします。ウエハから小片を切り出し、中央50×50μmの領域にてIPFマップを取得。測定範囲内は、{001}面を表す赤色を示し、また、粒界が見られないことから単結晶であることが確認できます。測定したシリコンウエハは単結晶であるため、IPFマップ、極点図、逆極点図は比較的シンプルな結果になりました。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。