シリコンフォトニクステストシステム - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

シリコンフォトニクスウェーハテストシステム『SWT5100』

8インチから12インチまでのウェーハに対応した高性能ウェーハレベルテストシステム！

『SWT5100』は、シリコンフォトニクスウェーハの自動テストを 行うための高性能なウェーハレベルテストシステムです。 ウェーハのローディングから光アライメントまで、完全に自動化された テストプロセスを提供。25℃から150℃までの温度制御が可能なチャックを 搭載し、光、DC、RFテストをサポートします。 GC結合およびEC結合の両方に対応し、単一ファイバーから ファイバーアレイまで柔軟に構成可能です。 【主要仕様(一部)】 ■対応ウェーハサイズ：8～12インチ ■対応ウェーハ厚：200～2000 um ■チャック温度範囲：25℃～150℃ ■対応テスト：光、DC、RF ■結合方式：グレーティング結合およびエッジ結合 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。