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シート抵抗測定器(co) - 企業2社の製品一覧

製品一覧

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非接触シート抵抗測定機『DELCOM』

サンプルへの物理的損傷を与えず、幅広い測定レンジにて高精度な測定を実現!

『DELCOM』は、DC渦電流方式の非接触型シート抵抗測定システムです。 半導体/液晶基板、太陽電池セル、フレキシブル材料、各種導電性フィルム等の 研究開発・検査工程・製造ラインにおいて、サンプルへの物理的損傷を与えず、 幅広い測定レンジにて高精度な測定を実現。 測定アプリケーションは、半導体、ITO膜、グラフェン&カーボン、 容量性メタルホイール、電波吸収材料などです。 【特長】 ■DC渦電流方式の非接触型シート抵抗測定システム ■研究開発・検査工程・製造ラインにおいて、サンプルへの物理的損傷を与えない ■幅広い測定レンジにて高精度な測定を実現 ■測定レンジは抵抗範囲に応じて4つのレンジから選択可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 絶縁抵抗計

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非接触式シート抵抗測定機『LEI-1510シリーズ』

広い範囲で優れた測定直線性!三次元グラフィックマップとしてPCモニター上で確認可能

『LEI-1510シリーズ』は、旧リハイトン社製の非接触式シート抵抗測定機です。 ロボットを取り付ける事により、多数枚を迅速に計測処理する事が可能。 四探針方式で起こる、探針の接触汚染や接触具合による再現性の問題を 解決します。 2インチから最大8インチまでのSiウェーハ、化合物半導体(GaAs、GaN、InP等) epiウエハを非接触・破壊にてシート抵抗を測定します。 【特長】 ■探針の接触汚染や接触具合による再現性の問題を解決 ■多数枚を迅速に計測処理する事が可能 ■0.035~3200ohm/sq.という広い範囲で優れた測定直線性 ■計測データを三次元グラフィックマップとしてPCモニター上で確認可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他計測・記録・測定器
  • 半導体検査/試験装置

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