ウェハ ＋ ダイシングテープが付いたままでスタッドバンプボンド
12インチウェハも対応！ダイシングテープ付きウェハへのバンプボンディングの量産実績
K&Sの『ATPremier PLUS』は12インチウェハ対応のバンプボンダです。 ■ ダイシングテープ付きウェハ + 常温ボンディングでの量産実績 ■ バーチカルワイヤ対応。Cuピラーの代替プロセスとして注目 ■ 最大12インチ径のウェハ、セラミックス、基板などへのボンディングが可能 ■ 独自設計の市場最小クラスのフットプリント ■ Au/Cu/Agワイヤ対応 ■ ラージエリア対応のワイヤボンダとしても利用可能 最大300mm□ ■ デュアルステージ + 温度上昇／下降の任意プログラムでSAWフィルターなど温度変化センシティブウェハも対応 ■ ボンド位置精度 ・±3.5μm@3σ(200mmワーク) ・±5.0μm@3σ(300mmワーク) ■ ワイヤボンディング対応 ■ プログラマブルバックアップバッテリーシステム
- 企業：キューリック・アンド・ソファ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
