レンタル専用スピンコーター(卓上タイプ)
業界初!レンタル専用スピンコーター 簡易インナーカップ方式 小型・卓上タイプ 基板:Max250mm□
業界初!レンタル専用スピンコーター 受託加工(成膜・塗工)も対応可能 対応基板サイズ(MAX):250mm□・300mmウエハ 対象ワーク:ガラス基板・シリコンウエハ・フィルム 貸出期間:15日間~1年間以上 テーブル制作、自動供給ラインなどのオプションあり 小型・卓上タイプ
- 企業:ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
- 価格:応相談
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業界初!レンタル専用スピンコーター 簡易インナーカップ方式 小型・卓上タイプ 基板:Max250mm□
業界初!レンタル専用スピンコーター 受託加工(成膜・塗工)も対応可能 対応基板サイズ(MAX):250mm□・300mmウエハ 対象ワーク:ガラス基板・シリコンウエハ・フィルム 貸出期間:15日間~1年間以上 テーブル制作、自動供給ラインなどのオプションあり 小型・卓上タイプ
精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R&D用途 デモ機貸出可能 レンタル対応:15日~1年間以上
【装置仕様】 ・ 基板サイズ :φ4~250mm□基板 ・ 基板の受渡し方法 :人手によるセット/リセット ・ 装置重量 :約48Kg 【ユニット構成】 ・ カップ外径 :φ500mm ・ カップ材質 :SUS+ミガキ#400 ・ カップ処理 :オプション テフロンコーティング (カップ&インナーカップ内面) ・ 基板固定方法:真空吸着方式 ・ テーブル : オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい ・ スピンモータ: ACサーボモータ ・ 回転数 : MAX6000rpm (基板サイズ、厚みによる) ・ 回転精度 : ±2rpm ・ 回転表示 : タッチパネル上にデジタル表示 ・ 回転制御 : タッチパネルにて設定
装置ラインナップ スリットコーター、スピンコーター、ディップコーター、卓上コーター MaxG8基板サイズまで可能です。
【装置ラインナップ】 スリットコーター、スピンコーター、ディップコーター、卓上コーター 【コーターの特徴】 ・10mm□~G8基板サイズまで可能です。 ・薄膜から厚膜(1~500μm程度)まで均一性に優れた塗布精度の高いコーターです。 ・各種装置のテスト機にてご評価頂けます。 ・低粘度から高粘度(数cp~5 000cp)まで、塗布の均一を維持向上致します。 ・お客様の用途、環境に合わせて設計・製作致します。 【テスト対象基板、ワーク】 ・ガラス:10mm□~G6基板サイズ ・ウエハ:2インチ~Φ300mm ・機能性フイルム:MAX400×500mm 塗布材料、粘度 ・各種薬液:レジスト、インク、ペースト、樹脂系 ・粘度:数cp~5 000cp ・膜厚:1~500μm 【主要用途、実例】 ・大学、研究開発機関、産総研 ・半導体、液晶、有機EL、タッチパネル ・機能性フィルム ・素材、材料開発 ・精密部品、光学部品 ・医薬品、化粧品研究用途