ターボ分子ポンプ(イオンポンプ) - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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エドワーズ社ターボ分子ポンプ
オイルフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。
セラミックベアリング型の高信頼性ポンプです。 客先にてベアリング軸受けの交換も可能です。
- 企業：丸菱実業株式会社
- 価格：50万円 ~ 100万円
ライボルト社ターボ分子ポンプ
オイルフリー・メンテナンスフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。
セラミックベアリング型の高信頼性ポンプです。 ローターステージとドラッグステージにより、N2はもちろん、H2の 圧縮比・排気速度・スループットが大きい設計になっています。 コントローラは、装置組込み用廉価版コントローラと、ラック型 コントローラがあります。
- 企業：丸菱実業株式会社
- 価格：50万円 ~ 100万円
磁気浮上型ターボ分子ポンプ STP-451
全翼回転翼を搭載した超高真空対応。電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用。
「磁気浮上型ターボ分子ポンプ STP-451」は、電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用です。 業界トップクラスの性能と最大限のプロセス柔軟性を実現！ 科学機器、半導体、磁気媒体業界の主要機器メーカーに採用され、 高い信頼性を認められています。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：丸菱実業株式会社
- 価格：応相談
磁気浮上型ターボ分子ポンプ STP-301
長時間の安定稼働、ハイドロカーボンを使用しないクリーンな排気。電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用に最適。
「磁気浮上型ターボ分子ポンプ STP-301」は、ミニマムメンテナンス、及び低振動が要求されるアプリケーションに最適です。 業界トップクラスの性能と最大限のプロセス柔軟性を実現！ 科学機器、半導体、磁気媒体業界の主要機器メーカーに採用され、 高い信頼性を認められています。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：丸菱実業株式会社
- 価格：応相談
