ドライ真空ポンプ(製造) - 企業と製品の一覧
更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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製品一覧
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ドライ真空ポンプ『MU-X シリーズ』
世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現！あらゆる製造装置に組み込みが可能
『MU-X シリーズ』は、同クラスで、世界最省クラスの省エネとフットプリントを 両立したルーツ型ドライ真空ポンプです。 あらゆる製造装置に組込みが可能です。 ロードロック及び搬送室等のクリーン排気プロセス用途に最適です。 【仕様】 ■消費電力0.35kW ■A3以下の230×450mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：樫山工業株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ【空冷式】 「FT6-P型」
油回転・スクリュー式真空ポンプの代替！小型で高真空（1Ｐａ）を実現！
ドライ真空ポンプ「FT6-P型」は油回転式真空ポンプ・スクリュー式真空ポンプの問題点を解消したオイルフリーで、停止直後の再起動が可能な空冷式ドライ真空ポンプです。 ※詳細はカタログをダウンロード頂くか直接お問い合わせください。
- 企業：株式会社アンレット
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ『SDE-Xシリーズ』
あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ！省エネに対応
『SDE-Xシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 消費電力1.3kW、多彩な設定で幅広いプロセスに対応。 SDEの耐プロセス性を継承した省エネモデルです。 【ラインアップ】 ■SDE90X ■SDE303X ■SDE603X ■SDE1203X ■SDE20M09X ■SDE30M09X ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：樫山工業株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ『SDE-TXシリーズ』
あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ！プロセス性能に特化
『SDE-TXシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 耐デポ性能に優れた縦型スクリューを採用し、構造材料や温度設定による 高い耐食性を発揮します。 【ハーシュプロセス対応例】 ■Metal-Etch ■SA-CVD ■Metal-CVD ■PE-CVD ■LP-CVD ■ALD ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：樫山工業株式会社
- 価格：応相談
全体の運用コストを最大50%削減するドライ真空ポンプ
『FOOMA JAPAN 2023』で実機展示！高効率のドライ真空ポンプ MINK MVシリーズ
MINK MV シリーズは、世界の製造現場で実績を積む、高効率なドライ真空ポンプです。 動作原理は非接触式のため摩耗がありません。従って効率が高く、消費電力が抑えられています。また、プロセスガスの圧縮に潤滑油や封液などが不要なことからもコストが抑えられます。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日本ブッシュ株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ『MU-P/Hシリーズ』
省エネ「だけじゃない」！世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現
『MU-P/Hシリーズ』は、省エネでありながら、プロセス耐性に優れた ルーツ型ドライ真空ポンプです。 軽負荷から中負荷までのあらゆる製造装置に組み込みが可能です。 「MU-Hシリーズ」は、更なる耐プロセス性向上のため、HOT-N2パージの 搭載も可能です。 【特長】 ■プロセス耐性：ポンプ高温化、パージ増量 ■消費電力0.7kW：プロセス向けルーツ型ポンプ省エネタイプ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：樫山工業株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ『SDLシリーズ』
ハードプロセス向け！ウェハー・FPD基板の大型に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ハードプロセス向け ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：樫山工業株式会社
- 価格：応相談
ベッカー（Becker） ドライ真空ポンプ 総合カタログ
ベッカーエアーテクノ社が取扱うロータリーベーン式ドライポンプの総合カタログです。
完全ドライ・オイルフリーの真空・ブロワー・コンビネーションの各種ドライポンプを多数掲載しています。 【掲載製品】 ○ドライ真空ポンプ KVT3シリーズ ○ドライ真空ポンプ VT4シリーズ ○ドライ真空ポンプ VTLFシリーズ ○ドライブロワーポンプ DT4シリーズ ○ドライブロワーポンプ KDT3シリーズ ○ドライブロワーポンプ DTLFシリーズ ○ドライコンビネーションポンプ T4シリーズ ○ドライコンビネーションポンプ DVT3シリーズ ほか ◆◆カタログご希望の方は資料請求よりお問合わせ下さい◆◆ ?ダウンロードから一部ラインナップがご覧いただます?
- 企業：ベッカーエアーテクノ株式会社 東京本社、大阪営業所、東関東サービスセンター
- 価格：応相談
ルーツ式ドライ真空ポンプ VP4シリーズ
接ガス部フッ素樹脂ライニング施工でハロゲン系ガスや強酸性ガスの吸入に最適
ルーツ式ドライ真空ポンプ ＶＰシリーズは、接ガス部にフッ素樹脂ライニングを施工している製品です。 フッ素樹脂ライニング厚さは150μｍ以上で、ハロゲン系ガスや強酸性ガスに対する耐久性があります。試薬、農業、化学、高機能材等の用途でご活用いただけます。 【VP4シリーズ ラインナップ】 ■VP4-501 ■VP4-651 ■VP4-801 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社四葉機械製作所
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ『FT6/CT6シリーズ』
地球環境にベストマッチのルーツ式！低コストのドライ真空ポンプ
『FT6/CT6シリーズ』は、ルーツ式のドライ真空ポンプです。 パッケージレスで低コスト。ロータリーポンプの取替に最適です。 「CT6シリーズ」は水冷式、「FT6シリーズ」は空冷式です。 また「CT6シリーズ」をパッケージ化した「CT6-PCシリーズ」や メカニカルブースタと組み合わせた「MCT7シリーズ」も ラインアップしています。 【特長】 ■6段ルーツ式ドライ真空ポンプ ■オイルフリー・接ガス部ドライでクリーン排気 ■高真空・高効率・省エネ ■電源リサイクルによる性能違いを解消 ■パッケージ式は各種モードで運転可能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 【お問い合わせは正規代理店のエイチアールディーまで！】
スクリュー式ドライ真空ポンプ
低速運転により軸受・軸シール・タイミングギヤ等を長寿命化。高信頼性で分解・組立も容易
当社では、独自のスクリュー形状（Queen Bee Screw）により 驚くべき低速（3600min-1／60Hz、3000min-1／50Hz）を実現した 『ドライ真空ポンプ』を設計・製造・販売しています。 化学・医薬、自動車・電子部品、半導体・液晶など幅広い分野で活躍。 各種ラインアップから用途に応じた製品をお選びいただけます。 【特長】 ■低速運転で軸受等の長寿命化のほか、低騒音化・低振動化を実現 ■凝縮液やダストがポンプ内部に滞留すること無く、スムーズに排気可能 ■シンプルな構造で分解・組立が容易 ■優れた到達圧力が得られ、広範な圧力領域で連続運転可能 ■接ガス部は特殊コーティングにより優れた耐食性を発揮 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：大晃機械工業株式会社 陸上事業部
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ（空冷式）「FT6-P型」【※無料デモ機貸出中】
【限定5社】油回転・スクリュー式真空ポンプの代替として注目のドライ真空ポンプ「FT6-P型」を無料にてデモ機を貸出致します！
株式会社アンレットのドライ真空ポンプ「FT6-P型」は油回転式真空ポンプ・スクリュー式真空ポンプの問題点を解消したオイルフリーで、停止直後の再起動が可能な空冷式ドライ真空ポンプです。 無料デモ機貸出中！ ※デモ機を希望の企業様はお問い合わせより「デモ機貸出希望」と記載の上、 お問い合わせください。 ※貸出状況により、お待ちいただくことがございます。その際は、ご了承ください。 ※貸出状況は直接お問い合わせください。 ◎製品詳細についてはカタログをダウンロード頂くか直接お問い合わせください。
- 企業：株式会社アンレット
- 価格：応相談
