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ネトロン式スパッタ装置(成膜) - メーカー・企業と製品の一覧 | イプロスものづくり

ネトロン式スパッタ装置の製品一覧

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多種金属対応!業界最小クラスの超コンパクトコーターです。

Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックコンパクトコーター!

「SC-701Mk II ADVANCE」は、Ni、Cr、W、Ti、Al等、多種金属対応のハイスペックコンパクトコーターです。 DCスパッタのカテゴリーの内でシリーズ最小の超コンパクトモデルです。 各種金属の薄膜作製を、コンパクトで使いやすい装置で手軽に行なえます。 【特徴】 ○真空計を装備し、成膜条件の再現性を確保 ○スモール、コンパクト&ハイスペック ○手動式シャッター標準装備 ○専用試料台とステージで、簡単にT-S間距離をかえられます ○タングステンコートが可能なため、高分解能SEM用試料作製にも利用可 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • その他理化学機器
  • ネトロン式スパッタ装置

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コンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」

ターゲットは3種類同時に装着可能!多層膜を作製することが可能です。

マルチコンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」は、低真空領域において、マグネトロンカソードを用いた直流放電によりプラズマを発生させ、プラズマ中のイオンによってカソードに装着した金属ターゲットをスパッタし、試料表面に薄膜を作製する小型の成膜装置です。 ターゲットは3種類同時に装着可能であるため、真空中においてターゲットを選択でき、多層膜を作製することが可能です。 【特長】 ○オプションとして膜厚センサー、試料加熱ユニットなども取付けられる構造 ○抵抗加熱式真空蒸着装置としても使用が可能 →排気装置上部を抵抗加熱ユニットに交換し、専用電源を接続 詳しくはお問い合わせください。

  • コーター
  • ネトロン式スパッタ装置

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