バリアブルリークバルブ - 企業2社の製品一覧

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高性能バリアブルリークバルブＺLVMシリーズ

バックラッシュを最小に抑え再現性よく高精密なガスコントロールを実現。

高性能バリアブルリークバルブＺLVMシリーズはガス源から真空チャンバー内にガスを導入する際に、微小なガスフローを制御するために使用します。バックラッシュを最小に抑え、ナイフエッジと銅合金パッドの材質・構造を工夫することにより、再現性よく、高精密なガスコントロールを実現しました。詳しくはお問い合わせください。

企業：丸菱実業株式会社
価格：応相談

バルブ

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超高真空バリアブルリークバルブ

全金属製で450℃までのベーキングが可能！広範囲にわたりガス流量の調節ができます

『超高真空バリアブルリークバルブ』は、導入ガス流量の調節を必要とする真空装置に使用する製品です。調節可能最少リーク量が6.7×10^-9Pa・m3/sec以下ときわめて微少流量領域からのガス導入が可能。また、全金属製で450℃までのベーキングが可能ですので、超高真空装置用に適しています。【特長】 ■熱と外部衝撃に強いシール部 ■微少ガス流量を安定調節 ■優れた許容加熱性 ■広範囲ガス流量の調節が可能 ■超高真空接続可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。