パーティクルカウンター 半導体特殊材料ガス用 KS-93
特殊ガス供給システムのクリーンコントロールに威力を発揮 0.1μmから測定
半導体特殊材料ガスのインライン測定が可能 国内製造・国内メンテナンス 信頼のリオン計測器
- 企業:リオン株式会社
- 価格:応相談
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特殊ガス供給システムのクリーンコントロールに威力を発揮 0.1μmから測定
半導体特殊材料ガスのインライン測定が可能 国内製造・国内メンテナンス 信頼のリオン計測器
インライン測定を実現!自己補償型自由噴流センサを採用した加圧Air対応パーティクルカウンタ
今までパーティクルカウンタは、センサの構造上、大気圧下における吸引サンプリングのみに対応し、圧縮空気・ガス中の粒子測定はできないものと考えられていました。 一方、HACCPの制度化、ISO22000移行(2021年6月)では、食品に直接、 あるいは、間接的に接触するガス類についても、埃・菌・水・油の 管理が必要となっています。 また、プローエアなど空圧系での清浄度監視の需要も少なくありません。 パーティクルプラス『Model 5301C・5501C』は、独自の自己補償型自由 噴流方式のセンサにより加圧空気中の粒子の直接測定を実現しました。 【特長】 ■自己補償型自由噴流センサ採用 ■粒径6段階可設定 ■1秒単位のデータ集収(45,000ログ) ■リアルタイムメータ ■多点監視ソフトウェアAMOSYS ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
フィルターの下流側のスキャンニングだけではなく上流側のサンプリングもできる、パーティクルカウンターをベースにしたシステムです。
このScanAir ProシステムはパーティクルカウンターをベースにしたHEPA/ULPAフィルターをスキャンニングするシステムで、PTFE(テフロン)やファイバーグラスやその他のフィルターメディアのリーク検査ができる簡単で軽量のシステムユニットです。 リークを調べるだけではなく、フィルター能率の測定と同時にクリーンルームの回復試験として、そのフィルターメディアをスキャンする為のシステムです。
クリーンルームなどの環境測定に。汎用的なパーティクルカウンタ
粒径区分は複数モードから選択可能です。 タッチパネル式採用で操作性にも優れ、シンプルかつ使いやすいモデルです。 ★詳細は下記【関連リンク】から、製品ページをご確認ください。 ★「PDFダウンロード」資料から総合カタログ(電子)もご取得いただきます。 ★「お問い合わせ」からお見積り依頼も可能です。お気軽にどうぞ。