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ピエゾステージ×THKプレシジョン株式会社 - メーカー・企業と製品の一覧

ピエゾステージの製品一覧

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【ピエゾステージ】PF対物レンズフォーカスタイプ 横型

対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプです。厚みが薄くコンパクトでストロークの種類も豊富な横型です!

超精密位置決めピエゾステージのPF対物レンズフォーカスタイプ横型です。 横型は厚みが薄くコンパクトでストロークの種類も豊富です。ストロークは15nmから400nmまでのラインナップをご用意しております。 PF対物レンズフォーカスタイプは対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプです。 顕微鏡や観察機器、各種の検査・製造装置、レーザー加工機などに組み込みことでレンズの焦点調整の高速化や高精度化が実現します。 各メーカのレボルバおよび対物レンズに対応できるよう、数種類のねじサイズを用意しています。 また、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるフィードバック制御で、動きのある対象物にも素早く正確にフォーカスさせることができます。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【ピエゾステージ】PF対物レンズフォーカスタイプ 縦型

対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプです。縦型はレンズの高速応答性を重視した高剛性仕様です。

超精密位置決めピエゾステージのPF対物レンズフォーカスタイプ縦型です。縦型はレンズの高速応答性を重視した高剛性仕様です。 PF対物レンズフォーカスタイプは対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプです。顕微鏡や観察機器、各種の検査・製造装置、レーザー加工機などに組み込みことでレンズの焦点調整の高速化や高精度化が実現します。 各メーカのレボルバおよび対物レンズに対応できるよう、数種類のねじサイズを用意しています。 また、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるフィードバック制御で、動きのある対象物にも素早く正確にフォーカスさせることができます。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【超精密位置決めピエゾステージ】光学ミラーアライメント用

レーザ光スキャニングに適しています

■大径ミラーにもカスタム対応 駆動源のピエゾ素子は高い発生力(数百Nクラス)を持っているため、重量のある大径ミラーでも安定して高精度に位置決めが可能です。 ■角度制御も容易 角度を数値指定して移動させる「静的動作」も、連続的に往復振動させる「振動動作」も、コントローラ/ドライバを介して簡単に行えます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【超精密位置決めピエゾステージ】対物レンズフォーカス用

対物レンズの焦点調整用に専用設計したピエゾステージ

■各メーカの対物レンズが取り付け可能 ・各メーカのレンズねじ径に適合できるよう4種類のねじサイズから選択できます。 ・別売で“ねじ径変換アダプタ”も用意しています。 ・規格外のレンズの取り付けもご相談ください。 選べる4つのタイプ 【横型タイプ】 ・本体の厚みを抑えた構造です。 ・ストロークのバリエーションが豊富で、長い移動量を必要とする場合はこのタイプから選定します。 【縦型タイプ】 ・剛性が高く応答性を重視したタイプです。 ・重いレンズや鏡筒の長いレンズを使用する場合、あるいは高速フォーカスを求める場合に適しています。 【箱型タイプ】 ・対物レンズを中心とした対称形両持ち構造とし、高重量のレンズでも安定したフォーカスが行えます。 ・4本のねじで確実に設置固定でき、製造装置や検査装置への組み込み搭載に適しています。 【鏡筒用】 ・顕微鏡の鏡筒を取り付けてフォーカス方向に微調できます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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