フッ素樹脂コーティング(基板) - メーカー・企業と製品の一覧

フッ素樹脂コーティングの製品一覧

1～2 件を表示／全 2 件

表示件数

【半導体業界事例】レジスト液の這い上がり防止技術『ナノプロセス』

吸着搬送治具へのレジスト液のはいあがりを防止できるコーティング事例をご紹介します。

精密な基盤にレジスト液を塗布する装置部品への表面処理の事例をご紹介します。 ■ご相談フィルム状の薄い基板にレジスト液を塗布する工程で、吸着治具にレジスト液が精密な基盤にレジスト液を塗布する工程でのご相談でした。 ■お悩みフィルム状の薄い基板にレジスト液を塗布する工程で、吸着治具にレジスト液が付着して、次に搬送される基板に治具のレジスト液がくっついてしまう問題が発生。基板へのレジスト液の付着は製品不良になるため、搬送治具の清掃頻度を増やさざるを得ず、生産性も上がりませんでした。 ■ご要望問題を解決するため当初はテフロンTMコーティングで試作しましたが、コーティングのわずかな表面の凹凸が薄い基板に模様として転写し、製品不良となってしまいました。問題解決には精密性とレジスト液の付着防止を両立させる表面処理が必要でした。【解決課題】・レジスト液の付着・清掃時間・コーティングの厚みムラ ■採用コーティング『ナノプロセス(R)　TC-10』 ※詳しい解決の内容はPDFをダウンロードしてご覧頂くかお問い合わせください。

企業：株式会社吉田ＳＫＴ
価格：応相談

表面処理受託サービス

ブックマークに追加いたしました

ブックマーク一覧

ブックマークを削除いたしました

ブックマーク一覧

これ以上ブックマークできません

会員登録すると、ブックマークできる件数が増えて、ラベルをつけて整理することもできます

無料会員登録

【表面処理事例】超薄膜フッ素コーティングでレジスト液の付着防止

超薄膜で高い撥水撥油性・離型性を実現！100ナノ以下の薄膜フッ素コーティング『ナノプロセス　TC-10S』※事例＆資料進呈

超薄膜フッ素コーティング『ナノプロセス　TC-10S』でレジストの液切れを実現し、製品不良を改善した事例をご紹介します。 ■課題ポイント・フィルム状の基板にレジスト液を塗布する際、　吸着治具にレジスト液が付着し次の搬送基板に　治具のレジスト液付着する問題が発生。・基板へのレジスト液の付着は製品不良の原因となる。・レジストの付着を防ぐため、治具の清掃頻度増加。・テフロンコーティングでは、表面の凹凸が薄い基板に模様として転写し、　製品不良の原因になる。 ■解決のポイント・膜厚1μｍ以下の薄膜フッ素コーティングは基盤表面に凹凸が転写しない。・レジスト液の離型性が良く、基板への液付着リスクが減少。・吸着治具の清掃時間の削減。・製品不良の減少。 ■TC-10Sの特徴・寸法変化をほとんど起こさず、光学特性を維持できる、・これまでのフッ素樹脂コーティングｆでは加工が難しかった『精密部品』　『高い寸法・表面精度を必要とする分野』での加工が可能 ※事例・表面処理の詳細はPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。