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【表面処理事例】超薄膜フッ素コーティングでレジスト液の付着防止

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ナノプロセス(R)

最終更新日:2025年11月11日

株式会社吉田SKT
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超薄膜で高い撥水撥油性・離型性を実現!100ナノ以下の薄膜フッ素コーティング『ナノプロセス TC-10S』※事例&資料進呈

超薄膜フッ素コーティング『ナノプロセス TC-10S』で レジストの液切れを実現し、製品不良を改善した事例をご紹介します。 ■課題ポイント ・フィルム状の基板にレジスト液を塗布する際、  吸着治具にレジスト液が付着し次の搬送基板に  治具のレジスト液付着する問題が発生。 ・基板へのレジスト液の付着は製品不良の原因となる。 ・レジストの付着を防ぐため、治具の清掃頻度増加。 ・テフロンコーティングでは、表面の凹凸が薄い基板に模様として転写し、  製品不良の原因になる。 ■解決のポイント ・膜厚1μm以下の薄膜フッ素コーティングは基盤表面に凹凸が転写しない。 ・レジスト液の離型性が良く、基板への液付着リスクが減少。 ・吸着治具の清掃時間の削減。 ・製品不良の減少。 ■TC-10Sの特徴 ・寸法変化をほとんど起こさず、光学特性を維持できる、 ・これまでのフッ素樹脂コーティングfでは加工が難しかった『精密部品』  『高い寸法・表面精度を必要とする分野』での加工が可能 ※事例・表面処理の詳細はPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【表面処理事例】超薄膜フッ素コーティングでレジスト液の付着防止

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  • 『ナノプロセス』の詳細情報はこちら! 吉田SKT公式サイト
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基本情報

【TC-10Sの特長】 ■精密性 ■変化のない可視光線透過率 ■高い撥水性・撥油性 ■耐熱性 ■高い寸法定性 【各シリーズの特長】 ■TC-10S  100nmの精密性・可視光線透過率・撥水性・撥油性に優れる ■TLSシリーズ  ガムテープの様な粘着物の非粘着性に優れる ■NCFPCシリーズ  水・油の液滑落性に優れる ■HPシリーズ  親水性に優れる  

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用途/実績例

【用途例】 ・電子機器、電子部品のシールや撥水処理 ・光学レンズの撥水 ・軸受け部品のオイル拡散防止 ・シール部品のオイルスラッジ防止 ・フラックスなどの付着防止 ・レジスト液等の液切れ対策 ・理化学機器の撥水性向上  etc

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【課題解決事例チラシ】 吸着搬送治具のレジスト液付着防止コーティング 「半導体業界」

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超薄膜コーティング『ナノプロセス』 特性データ付き資料「製品チラシ」(フッ素系・非フッ素系)

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具体的な製品7選付きガイド 生産性を底上げする 機能性表面処理

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この製品に関するニュース(1)

100ナノ以下の薄膜フッ素コーティング『ナノプロセス TC-10S』

◆株式会社吉田SKT◆ NEW 「【表面処理事例】超薄膜フッ素コーティングでレジスト液の付着防止」を公開しました。

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超薄膜で高い撥水撥油性・離型性を実現! 100ナノ以下の薄膜フッ素コーティング『ナノプロセス TC-10S』 ※事例&製品資料進呈 超薄膜フッ素コーティングでエンジン部品のオイルスラッジ固着付着防止を実現!

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製造装置や機械部品の性能を最大限に引き出すため、 吉田SKTは数百種類の表面処理技術から、お客様だけの「最適解」を導き出します。 ・粘着トラブルによる生産性低下 ・摩擦による製品品質の不安定化 ・腐食による設備の早期劣化 こうした製造現場の課題に、豊富な実績と確かな技術力で応えます。 1963年、フッ素樹脂加工を開始。 1968年には米国デュポン社(現ケマーズ社)とのライセンス契約を締結し、 自動車から医療、航空宇宙まで、2,000社を超えるお客様の製造革新をサポートしています。 さらに2024年にはPFASフリーコーティングを開発するなど、次世代製品の開発にも注力。 持続可能な製造業の発展に貢献します。 名古屋・東京・山口の3拠点体制で、量産から特注品まで柔軟に対応。 一貫した品質管理体制により、確かな品質をお届けします。 製造現場の課題解決は、表面処理のエキスパート、吉田SKTにお任せください。

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