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スラリーなどの研磨性流体に最適・液溜まりを最小限に抑えたフッ素樹脂製ダイアフラムバルブ
半導体製造装置・薬液供給装置・化学工場のフッ素樹脂製バルブです。CMPスラリー等粘性薬液に最適な抵抗の少ない流路構造のダイアフラムバルブです。抵抗の少ない構造である為、サイズによっては他社比較2倍以上の流量能力がございます。また,液溜まりの少ないボディ形状によりコンタミネーションのリスクが抑えられております。装置内をコンパクトに設計できるようT弁、3方弁タイプなども標準で用意をしています。
デッドスペースが最小の構造で背圧にも強い堅牢なフッ素樹脂製ダイアフラムバルブです。
半導体製造装置・半導体工場サブファブ・半導体向け化学工場の薬液配管向けのフッ素樹脂製ダイアフラムバルブです。 特に世界中の半導体工場サブファブ(薬液供給・CMP供給)で活躍しております。 【製品特徴】 コンパクト 耐久性…500万回以上の開閉に耐えられます。 流れやすい…特徴的な流路でスムーズな流れを実現します。デッドスペース最小 堅牢な構造…PVDF製のアクチュエーターを採用。耐薬品性も高いです。 安全設計…補助スプリングを採用で、長期間使用による樹脂の変形でもしっかりとシール性を実現します。 最高使用温度200℃の仕様でも製作できます。標準で開度調整、ポジションインジケーターを搭載しています。 ブロックバルブとしても使用でき、完全オーダーメイドでロット数1から販売可能です。(※画像参照) ぜひお気軽にお声掛けください。
装置内のフットプリントを最小に!でも高耐圧・流量能力は抜群！フッ素樹脂バルブ
GEMÜはより半導体工場・半導体向け化学薬品プラントの装置、設備の小フットプリント化をサポートします。 GEMÜ iComLine P35は業界最高クラスの小型化を実現しました。 バルブの小型化により、 フットプリント最小化による半導体生産性の向上 装置内、設備内メンテナンス性の向上 メンテナンス時間の短縮 使用材料の低減によるコストメリット を実現しました。 小型化になってもバルブとしての耐圧、流量は高スペックです! また、このバルブのマウンティング(壁などの取り付け)はきれいにバルブを横に配列ができように設計されています。なのでよりすっきりとした配管設計を助けます。 ブロックバルブにも搭載することで、最適な配管で小型化をより向上させます。 半導体生産の"時は金なり"を実現する新しいバルブです!
