1～2 件を表示 ／ 全 2 件
スラリーなどの研磨性流体に最適なフッ素樹脂製ダイアフラムバルブ
半導体製造装置及び化学工場の薬液配管向けのフッ素樹脂製バルブです。CMPスラリー等粘性薬液に最適な抵抗の少ない流路構造のダイアフラムバルブ(ダイヤフラムバルブ)です。抵抗の少ない構造である為、サイズによっては他社比較2倍以上の流量能力がございます。 また 液溜まりの少ないボディ形状によりコンタミネーションのリスクが抑えられております。
デッドスペースが最小の構造で背圧にも強い堅牢なフッ素樹脂製ダイアフラムバルブです。
半導体製造装置及び化学工場の薬液配管向けのフッ素樹脂製ダイアフラムバルブ(ダイヤフラムバルブ）です。 コンパクトかつ500万回以上の開閉にも耐えうる高い耐久性を持ちます。 流路がスムーズでデッドスペースが最小の構造です。 補助スプリングが内蔵されており、低温の環境下で樹脂が変形したとしても、補助スプリングがダイアフラムを押さえつけて、シール性を保ちます。 最高使用温度180℃の仕様でも製作できます。
