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プラズマアッシング装置 - メーカー・企業と製品の一覧

プラズマアッシング装置の製品一覧

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ヤマトマテリアル株式会社 事業紹介

消費者の動向から地球環境を考えたビジネス!企画・開発・提案力を重視!

ヤマトマテリアル株式会社は、主に「容器・包装」「生産システム」 「エレクトロニクス関連商品」の各事業分野をフィールドとする 専門商社です。 半導体・エレクトロ二クス分野の検査・梱包から生産設備までの企画販売 を行う新素材事業本部。 【事業内容】 ■新素材事業本部 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ウエハー

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バッチ式プラズマアッシング装置 ウエハアッシャー装置

50枚一括バッチ式プラズマアッシング装置(アッシャー装置)・6インチウエハと8インチウエハに対応。ウエハ枚葉処理式もございます。

高性能装置を低価格でご提供。 アッシングレート:300Å以上、面内均一性:±20%以下、バッチ間均一性:±20%以下、処理能力:150枚/時間(RF0分で算出)。枚葉式アッシャー、エッチャーも低価格でご提供しております。老朽化した装置のレトロフィットもお受けしております。

  • アッシング装置
  • その他半導体製造装置

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