プラズマ常時監視システム 「FS1000」
プラズマ異常放電の可視化と予知
（株）EM・Predix は，過去14 年間（それ以前にも本技術に直結する経験を重ねてきました）に亘り、様々な業界において、プラズマダメージおよび静電気障害に対する計測技術および対策技術を提案してまいりました。 この資料では，プラズマチャンバー内部で発生しナノ秒 (ns) で完結する異常放電から放射される電磁波を検出するプラズマ常時監視システムFS1000をご紹介いたします。 【特徴】 ○チャンバー内全位置の放電を検出 ○放電が放射する過渡電磁波を検出 ○異常放電を検知・予知・制御 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：東京電子交易株式会社
- 価格：応相談
