プラズマ異常放電の可視化と予知
（株）EM・Predix は，過去14 年間（それ以前にも本技術に直結する経験を重ねてきました）に亘り、様々な業界において、プラズマダメージおよび静電気障害に対する計測技術および対策技術を提案してまいりました。 この資料では，プラズマチャンバー内部で発生しナノ秒 (ns) で完結する異常放電から放射される電磁波を検出するプラズマ常時監視システムFS1000をご紹介いたします。 【特徴】 ○チャンバー内全位置の放電を検出 ○放電が放射する過渡電磁波を検出 ○異常放電を検知・予知・制御 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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【特徴】 ○プラズマ異常放電の可視化と予知 ○Townsend spark が放射する電磁波の検出 ○リアルタイムモニタリングシステム ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
弊社は1977年に設立以来、多くの有力企業の半導体、電子部品の開発に貢献してきました。高速・高圧技術を始めとした静電気に関するノウハウをベースに、アナログ信号を高精度に計測・解析する各種製品およびシステムの製造、販売を行なっています。