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ALIO社が±30°の傾き可能なハイブリッドヘキサポッド！360°回転も可能！ 高剛性長ストロークヘキサポッドステージ
ALIO Industries社のパテントテクノロジー。 パラレルキネマティックの自由度とシリアルキネマティックの精度・剛性を融合した新しいタイプのヘキサポッド Hybrid Hexapod 。 その大きな特徴は長ストロークのヘキサポッドながら、スタンダードでも、±80nmの繰り返し精度を達成している点にあります。 従来のシステムに対して、コンパクト・高剛性・長ストローク・高精度という、大きなアドバンテージを持ち、精密加工・精密アライメント等のアプリケーションで全く新しいシステムデザインを可能にしております。
小型高精度ヘキサポッドステージ SOLANO
SOLANO は、最小 0.08 µm の分解能で精密な位置決めと校正用に設計された超コンパクトなヘキサポッドです。 SOLANO ヘキサポッドは、サイズ、分解能、精度、安定性の点で、要求の厳しい分野からの高まる要求に応えます。 その寸法は、高さ 104 mm と直径が 120 mm と小さいため、狭い環境への統合が可能です。SOLANOは縦置きと横置きの2つの向きで使用可能です。
小型高精度ヘキサポッドステージ BORA
BORA ヘキサポッドは、0.1 µm の分解能で精密要素の位置決めと調整を行うためのコンパクトな 6DOF 平行運動学システムです。 BORA ヘキサポッドは、解像度、精度、安定性、サイズの点で光学およびナノテクノロジーの最も厳しい基準を満たしています。 その寸法により、例えばシンクロトロンビームラインでのアプリケーション用のゴニオメーターの先端や、宇宙光学系の位置合わせと校正を行う光学地上支援装置など、狭い環境での統合が可能になります。 BORA ヘキサポッドは、垂直、水平、逆さなど、あらゆる向きで使用できます。
