小型高精度ヘキサポッドステージ BORA
BORA ヘキサポッドは、0.1 µm の分解能で精密要素の位置決めと調整を行うためのコンパクトな 6DOF 平行運動学システムです。 BORA ヘキサポッドは、解像度、精度、安定性、サイズの点で光学およびナノテクノロジーの最も厳しい基準を満たしています。 その寸法により、例えばシンクロトロンビームラインでのアプリケーション用のゴニオメーターの先端や、宇宙光学系の位置合わせと校正を行う光学地上支援装置など、狭い環境での統合が可能になります。 BORA ヘキサポッドは、垂直、水平、逆さなど、あらゆる向きで使用できます。
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基本情報
XYストローク±20mm Zストローク±10mm チルト<±10° 回転(ZΘ)±15° 繰り返し精度(XYZ)±0.4μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)±3.2μrad サイズφ210mm 高さ(Z中間地点)145mm 開口φ36mm 耐荷重10kg ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
■レーザー機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■電気機器・電子機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■光学機器並びにその応用装置と部品の販売並びに輸出入業務 ■医療・理化学・測定機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■接着剤・接着テープ・接着シート・並びにその機器・装置の製造販売並びに輸出入業務 ■前各号に付帯する一切の業務