小型高精度ヘキサポッドステージ SOLANO
SOLANO は、最小 0.08 µm の分解能で精密な位置決めと校正用に設計された超コンパクトなヘキサポッドです。 SOLANO ヘキサポッドは、サイズ、分解能、精度、安定性の点で、要求の厳しい分野からの高まる要求に応えます。 その寸法は、高さ 104 mm と直径が 120 mm と小さいため、狭い環境への統合が可能です。SOLANOは縦置きと横置きの2つの向きで使用可能です。
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基本情報
XYストローク±18mm Zストローク±6.5mm チルト<±10° 回転(ZΘ)±21° 繰り返し精度(XYZ)±0.25μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)±4μrad サイズφ120mm 高さ(Z中間地点)104mm 開口φ32mm 耐荷重5kg ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
■レーザー機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■電気機器・電子機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■光学機器並びにその応用装置と部品の販売並びに輸出入業務 ■医療・理化学・測定機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■接着剤・接着テープ・接着シート・並びにその機器・装置の製造販売並びに輸出入業務 ■前各号に付帯する一切の業務
