小径高精度ヘキサポッドステージ MAUKA
MAUKA は、最大 5 kg の耐荷重をサブマイクロメートルの分解能で位置決めするように設計されたコンパクトなヘキサポッドです。 直径は 107 mm、中間位置での高さは 198 mm です。直径を最小限に抑えるために、モーターが一列に取り付けられるヘキサグライド形状を使用しました。 MAUKA は、垂直、水平、またはその他の角度のあらゆる方向に動作します。 アブソリュートリニアエンコーダのおかげで、コントローラの電源を入れるたびにホーミング コマンドを実行する必要がありません。
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基本情報
XYストローク±5mm Zストローク±10mm チルト<±8° 回転(ZΘ)±8° 繰り返し精度(XYZ)±0.5μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)±5μrad サイズφ107mm 高さ(Z中間地点)198mm 開口φ30mm 耐荷重5kg ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
■レーザー機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■電気機器・電子機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■光学機器並びにその応用装置と部品の販売並びに輸出入業務 ■医療・理化学・測定機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■接着剤・接着テープ・接着シート・並びにその機器・装置の製造販売並びに輸出入業務 ■前各号に付帯する一切の業務
