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最終更新日:2025年02月12日

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高安定高精度ヘキサポッドステージ KUBAN

Kuban は、高精度かつ 1.5 µrad の分解能で空間内に要素を配置するように設計された、非常に安定した 6DOF システムです。 高分解能アクチュエータと高精度球面ジョイントの構成と統合により、最大 500 kg の耐荷重で分解能と再現性の高いパフォーマンスを実現できます。

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Symetrie ヘキサポッド ステージ KUBAN

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基本情報

XYストローク±75mm Zストローク±45mm チルト<±5° 回転(ZΘ)±10° 繰り返し精度(XYZ)XY±0.2μm Z±0.1μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)RxRy±2.5μrad Rz±4μrad サイズφ450mm 高さ(Z中間地点)600mm 開口φ200mm 耐荷重500kg ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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