シンプル高精度ヘキサポッドステージ PUNA
PUNA は、研究や産業における高精度位置決めアプリケーションを最適な予算で満たすシンプルなヘキサポッドです。 耐荷重 25 kg に対して、XYZで 0.5 μm、回転で 5 μrad (0.0003 °) の分解能を提供します。 設計を簡素化するために、モーターはインラインで取り付けられ、インクリメンタルロータリーエンコーダーが組み込まれています。
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基本情報
XYストローク±30mm Zストローク±20mm チルト<±11° 回転(ZΘ)±20° 繰り返し精度(XYZ)±0.75μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)±3.2μrad サイズφ320mm 高さ(Z中間地点)200mm 開口φ144mm 耐荷重25kg ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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■レーザー機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■電気機器・電子機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■光学機器並びにその応用装置と部品の販売並びに輸出入業務 ■医療・理化学・測定機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■接着剤・接着テープ・接着シート・並びにその機器・装置の製造販売並びに輸出入業務 ■前各号に付帯する一切の業務