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最終更新日:2025年02月12日

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シンプル高精度ヘキサポッドステージ PUNA

PUNA は、研究や産業における高精度位置決めアプリケーションを最適な予算で満たすシンプルなヘキサポッドです。 耐荷重 25 kg に対して、XYZで 0.5 μm、回転で 5 μrad (0.0003 °) の分解能を提供します。 設計を簡素化するために、モーターはインラインで取り付けられ、インクリメンタルロータリーエンコーダーが組み込まれています。

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Symetrie ヘキサポッド ステージ PUNA

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XYストローク±30mm Zストローク±20mm チルト<±11° 回転(ZΘ)±20° 繰り返し精度(XYZ)±0.75μm  繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)±3.2μrad  サイズφ320mm 高さ(Z中間地点)200mm 開口φ144mm 耐荷重25kg ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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