回転式マグネトロン用コンポーネント『マグネットバー』
最適化された冷却コンセプト！逆マグネット配列（インバート）も提供可能
『マグネットバー』は、優れた磁場均一性を有する回転式マグネトロン用 コンポーネントです。 開発では、ターゲットの浸食、層の均一性、プロセスの安定性、そして アプリケーションに応じた磁場の強さに焦点を当てています。 さまざまなエンドブロックにも対応。当製品は幅広い範囲の磁場強度と長さで お求めになれます。また品質管理のため、社内設備で検査を実施しています。 【特長】 ■成膜均一性の最適化 ■高いターゲット利用効率 ■全基板幅にわたり、均一な薄膜特性 ■プロセス電圧の低減 ■最大プロセス電力（ターゲット材料とボンディングにより制限） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：フォンアルデンヌジャパン株式会社
- 価格：応相談
