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長期安定性に優れ、生産の的確性を維持！信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います
『5850Eシリーズ』は、エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。 数十年に渡って、世界中の数千種類ものアプリケーションでアクティブに使用された実績を持つ本シリーズは、独自の安定した流量センサを備え、現代の要求の厳しい工業生産プロセスに必要な信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います。 【特長】 ■取り外し可能な流量センサ ■取付姿勢の影響なし ■他のマスフローコントローラとの機械的/電気的互換性 ■電動式バルブオーバーライド ■耐腐食バルブ ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
国内防爆認証(JPEx)を正式取得！厳しい環境にも対応する耐久性！優れた精度を実現する精密マスフローコントロール！
粉塵、湿度、極端な温度、水分など、どんな厳しい条件でも、 『SLAMfシリーズ』エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータなら、 実証済みの「SLA5800ファミリ」ならではの高い精度と長期安定性を実現します。 特殊設計のNEMA4X/IP66規格筐体により、高度なデジタル電子部品を保護し、 プロセスに不可欠なガス/流体マスフローの安定した正確な測定と制御を行います。 防塵防爆エンクロージャー仕様のSLAMFシリーズは、 国内防爆認証(JPEx) 安全増防爆（MFC型式検定合格番号: DEK24.0048X、MFM型式検定合格番号: DEK24.0049X）を正式に取得したことで、 Zone2エリアへの導入・使用が可能となりました。 【特長】 ■NEMA4X / IP66級の高耐久性筐体 ■幅広い定格流量 - 0.003から20800 slpm ■幅広い温度と圧力条件に対応 ■優れた精度を実現 ■設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能 ※詳しくはPDFをダウンロード頂くか直接お問い合わせください。
デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現しました！
『GF40シリーズ』は、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したサーマル式のマスフロー コントローラ/メータです。 さまざまなガスを使用する場合、ガスの種類を頻繁に変更する場合、制御精度は維持したまま、 フルスケールレンジを変更する必要のあるシステムやプロセスに好適です。 MultiFloテクノロジーは、比類のない柔軟性を提供します。 1台のデバイスで、数千パターンの異なるガス・流量範囲の組み合わせに対応しています。 【特長】 ■専用のソフトウェアで設定変更が可能な、マルチガス/マルチレンジ機能 ■エラストマシールのオプションが豊富ため、さまざまなガスに対応 ■長期安定性に優れたハステロイ製センサを採用 ■実ガス試験に基づく100種類以上のガスデータを搭載 ■負荷の高いアプリケーションでも、1秒未満の応答時間とセットポイント ±1%の制御精度を実現 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
スピード重視のフロープロセス向けの超高速応答！幅広い種類の非腐食性ガスに適しています
『4800シリーズ』は、応答時間が向上するに従って、プロセスの効率と生産性 も向上するエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。 高度なMEMS式サーマルセンサは、コントロールバルブへの応答に最適化された 専用のPIDアルゴリズムを搭載し、セットポイントを任意に変更した場合でも、 当製品は実流量を高速で追従させることができます。 【特長】 ■流量応答時間（セトリングタイム） 0.75秒以下 ■革新的MEMSセンサおよび専用PIDアルゴリズム ■通常のサーマル式MFCの半分で、コンパクトなサイズ ■RS-232によるデジタル対応 ■オプションのローカルオペレーターインターフェース（LOI）で セットアップと操作を合理化 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
圧力制御を自動化し、圧力/背圧レギュレータとして使用できます！
オートプレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』は、豊富なオプションと機能を備えています。 SLA/SLAMfシリーズ マスフローコントローラおよびメータと組み合わせることで、シングルプラットフォームの利点である、制御（プロセス）に一貫性を持たせることができます。 SLA/SLAMfシリーズは、国際標準にトレーサブルな一次流量校正システムを使用しており、当社の優れた計測システムおよび手法に基づき、高精度、ゼロ点の長期安定性、優れた再現性を特徴としています。
1台のデバイスで複数のガスに対応するマスフローコントローラ/メータ。最大4台まで接続できるコンパクトなリードアウトユニットも紹介
『GF40シリーズ』は、1台で複数のガスに対応し プロセスの柔軟性と生産性を向上できるマスフローコントローラ/メータです。 メーカー独自の「MultiFloテクノロジー」を搭載し 高精度な流量制御や測定が可能で、多様なガスを使用するシステムに好適。 頻繁にガスの種類を変更する場合や、測定と制御精度を維持しつつ 範囲を再調整する必要のあるプロセス・施設で活躍します。 また、『0254』は電源供給とアナログ制御の機能に加え RS232シリアルポートを搭載したリードアウトユニットです。 RoHS指令に準拠し、ユーザーフレンドリーな操作性を提供。 多様なアプリケーションに簡単にインストールできる取付方法のオプションがあり 最大4台のBrooksマスフローまたは圧力デバイスに電力を供給します。 【特長】 ◎『GF40シリーズ』 ■豊富な実ガスデータを搭載 ■ガス種と流量レンジを変更できるため、1台で多様な研究テーマに対応可能 ◎『0254』 ■流量設定は瞬時制御とバッチ制御、流量表示は瞬時と積算に対応 ■省スペースで最大4台のマスフローコントローラ/メータを接続可能
コリオリ式マスフローや当社初の圧力式マスフローコントローラなどもラインアップ
当資料は、ブルックスインストルメントの流量、圧力、蒸気および 真空製品を掲載した総合カタログです。 クローズドループ、ブースト、ヒステリシスを排除した「SLA Series」 などのプレッシャーコントローラをはじめ、複数のガス種と流量レンジを 1台でカバーできる「GF40 Series」などのサーマル式マスフローや、 面積式流量計、圧力/真空製品などをラインアップ。 大変参考になる一冊となっておりますので、導入検討の際に ぜひご覧ください。 【掲載内容】 ■マスフロー＆プレッシャーコントローラ ■面積式流量計 ■圧力/真空製品 ■セカンダリエレクトロニクス＆ソフトウェア ■通信プロトコル ■サービス＆サポート ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
