株式会社フジキン『マスフローコントローラ』
フジキンのFCSは、ながれ(流体)制御技術を常にリードします！
フジキンのFCSシリーズは、さまざまな産業でご利用いただける「ガスの流量制御機器」です。FCSシリーズでは、FCS-Pressure(圧力制御方式)シリーズと、FCS-Thermal(熱式流量センサ制御方式)シリーズの制御方式の異なる2種類の製品ラインアップを取り揃えております。
- 企業：株式会社フジキン(Fujikin Incorporated)
- 価格：応相談
マスフローコントローラ(制御) - メーカー・企業と製品の一覧
マスフローコントローラの製品一覧
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システム【流量制御機器】FCS Pressure Series
超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。
圧力を制御することにより、従来のマスフローコントローラーでは実現できない 高精度な流量制御を可能にした、フローコントロールシステム 【特徴】 ○シンプルでデットスペースレスな構造 ○優れた圧力変動特性 上流の圧力が変動しても出力値が変動しないため 上流側に取り付ける事が可能。またレギュレータをガスシステムから省く事ができ ガスシステムのコストダウンと小型化を同時に達成 ○フローファクターの採用 様々なガス種に対応可能 ○優れた精度 ○流量自己診断機能の搭載 ○すばやい応答性 ○マウントポジションフリー ○デバイスネット通信にも対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
- 企業：株式会社フジキン(Fujikin Incorporated)
- 価格：応相談
システム【流量制御機器】FCS Thermal Series
熱式流量センサ制御方式を採用した、流量制御機器です。
更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現した デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー 【特徴】 ○高精度 流量精度±1％を実現 ○高性能センサ 低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び 安定性の低いガスに最適構造を実現 ○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止 高速応答ピエゾアクチュエータを採用 デットスペースフリー構造によるガス置換特性の大幅向上 パーティクル発生 極少 ○デジタルインターフェース標準装備 RS485 ○RoHS対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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