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マスフローコントローラ(圧力制御) - メーカー・企業と製品の一覧

マスフローコントローラの製品一覧

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ALICATマスフローコントローラ(低圧力損失タイプ)納期4週間

非常に小さな差圧で計測し、圧力損失が非常に小さく、低圧で使用する環境に最適なマスフローコントローラー。現在納期約4週間。

『MCW/MCRWシリーズ』は、非常に小さな差圧で計測が可能なため、圧力損失も非常に小さく、低圧でご使用される環境に最適なALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス/冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した「MCS/MCRSシリーズ」、などもラインアップしています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS)の高い流量精度 ■0.5SCCMから1000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他計測・記録・測定器

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ALICATマスフローコントローラーMCQシリーズ(高圧タイプ)

最大動作圧力は320PSIA(2.2MPaA)。 耐圧は400PSIA(2.7MPaA)。 混合ガスにも対応!

『MC/MCP/MCRシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製の高圧タイプのマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス/冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCHQS/MCRQSシリーズ」などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS)の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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