最大動作圧力は320PSIA(2.2MPaA)。 耐圧は400PSIA(2.7MPaA)。 混合ガスにも対応！
『MC/MCP/MCRシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製の高圧タイプのマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCHQS／MCRQSシリーズ」などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【ラインアップ】 ■MC/MCP/MCRシリーズ（標準タイプ） ■MCS/MCRSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応） ■MCW/MCRWシリーズ（低圧力損失タイプ） ■MCQ/MCRQシリーズ（高圧タイプ） ■MCV/MCVSシリーズ（シャットオフバルブ搭載） ■MCD/MCRDシリーズ（デュアルバルブ） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（8）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
■高性能マスフローメーター／コントローラー M/MCシリーズ ■低圧力損失マスフローメーター／コントローラー MW/MCWシリーズ ■腐食性ガス・冷媒ガス対応マスフローメーター／コントローラー MS/MCSシリーズ ■本質安全防爆仕様マスフローメーター／コントローラー IS-Maxシリーズ ■液体用フローメーター ／コントローラー L/LC/LCRシリーズ ■真空用シャットオフバルブ搭載MCV/MCVSシリーズ ■SEMI規格対応バルブ内蔵タイプMCE／MCESシリーズ ■デュアルバルブMCD/MCRDシリーズ ■圧力計／圧力コントローラーP/PC/PC3/PCD/PCRシリーズ ■本質安全防爆仕様 圧力計／圧力コントローラー IS-Proシリーズ ■熱式流量計 小型マスフローコントローラーBASISシリーズ ■バイオリアクター向け高精度フローコントロールBIOシリーズ ■コリオリ高圧低流量高精度フローコントローラーCODAシリーズ