マスフローコントローラ／マスフローメータ
電源ユニット不要、取り付け後すぐ制御・流量測定を開始できます
高速応答（最速0.3秒以内）で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁（比例電磁弁）を組み合わせ、高性能を実現したマスフローコントローラ／マスフローメータです。（保護等級 IP 65 取得機種有り）
- 企業：ビュルケルトジャパン株式会社
- 価格：10万円 ~ 50万円
マスフローメータ(制御) - メーカー・企業と製品の一覧
更新日： 集計期間:2025年10月08日～2025年11月04日
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マスフローメータの製品一覧
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液体用マスフローメータ LM-3000L series
各種液体流量を精密計測します
0.01〜20g/min (C2H5OH換算) の計測が可能です。液体は、ステンレスを腐食しないものであれば何でもOKです。コントロールバルブ（当社CVシリーズ）と接続する事により、液体マスフローコントローラとしても使用可能です。 【特長】 ○各種液体材料の高精度流量計測を実現 ○リンテック社独自の熱式マスフローセンサ（特許出願中）採用、 電子回路はデジタル化され、高速、高精度の流量計測が可能 ○コントロールバルブとの組合せにより、高精度の流量制御が可能 ○リンテック社独自の気化器との組合せにより、 高速、高精度の液体気化供給が可能 ○RoHS指令準拠 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
- 企業：株式会社リンテック 東京営業所
- 価格：10万円 ~ 50万円
『コリオリ式 TiCl4用液体MFC』
精密に制御かつ高再現が実現できる！TiCl4の流量をコントロールできるMFC
『TiCl4用液体MFC』は、TiCl4の流量を精密にコントロールすることが できる装置です。 メタルハードニングなどの工程で使用されるTiCl4は、 これまでサーマル式のMFCがよく使用されてきました。 しかし、流体の密度や比熱など物理的変化に対応できず、 正確に流量を測定・制御・高い再現性をキープなどが難しく、 上手く使用するためには、各ユーザーや装置メーカーごとの ノウハウが必要で、それらが大きな課題でもありました。 本製品をご利用頂ければ、精密に制御かつ高再現が実現できます。 【特長】 ■計測原理がサーマル式ではなくコリオリ式 ■流体の物理変化に影響を受けず「正確な質量」を投入することができる ■メンテナンス性など考慮しコントロールバルブ別置きタイプも選択できる 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ブロンコスト・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
ALICAT 圧力計/圧力コントローラーP/PCシリーズ
高速応答で安定性のある圧力制御。 アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載。 ±(0.30% FS) の高い圧力精度。
『Pシリーズ』は、高速応答で安定性のあるALICAT(アリキャット)社製の圧力計です。 『PC/PC3/PCD/PCRシリーズ』は、高速応答で安定性のある圧力制御が可能なALICAT(アリキャット)社製のコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±(0.30% FS) の高い圧力精度 ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日本スターテクノ株式会社
- 価格：応相談
薄膜技術の基礎知識『薄膜技術とは？』 ※資料進呈
CVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、プロセス制御のデジタル化とアプリケーション事例をご紹介しております
日常的に小型化、高性能化が進む世界。 携帯電話も、数年前には想像できなかったような機能を備えています。 このような高性能を実現したのは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。 【薄膜技術 ご利用用途】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器への抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面と呼ばれる対象物に薄膜材料を作成、コーティング、加工するプロセス」と定義されています。 本資料では、薄膜技術の説明やCVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、プロセス制御のデジタル化とアプリケーション事例をご紹介しております。 是非、ご一読くださいませ。 ★CVDとPVDの説明をさらに掘り下げた基礎知識や ガラス業界向けのガラスコーティングに関する基礎知識資料も進呈！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ITWジャパン株式会社
- 価格：応相談
EXE-FLOW MODEL EX-700R SERIES
ニードルバルブあり仕様であれば流量の制御も可能！デジタルマスフローメータのご紹介
『EXE-FLOW MODEL EX-700R SERIES』は、表示器一体型で各種機能を 使用できるデジタルマスフローメータです。 ニードルバルブあり仕様であれば流量の制御も可能。 RS485通信機能、アナログ出力4-20mA（0-5VDC/1-5VDCに変更可能）、 積算パルス出力を有しております。 【特長】 ■対象流体：気体 N2（Air、H2、He、Ar、O2、CO2、CH4/C.F.切替） ■最大流量：気体 10SCCM～500SLM ■精度：±1～1.5％F.S. ■C.F.値が0.50～1.50のガス種はお客様で追加登録可能 ■流量出力信号は表示器にて変更可能（出荷時 4-20mA） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
- 価格：応相談
MODEL 3810DSII SERIES
積算パルス出力あり！アラーム設定など、各種機能を使用できるローコストマスフローメータ
『MODEL 3810DSII SERIES』は、表示器一体型のローコストマスフロー メータです。 瞬時/積算流量表示、アラーム設定など各種機能を使用可能。アナログ出力 4-20mA/1-5VDCを選択いただけます。 また、ニードルバルブあり仕様であれば流量の制御もできます。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 10SCCM～100SLM ■精度：±2～3％F.S. ■表示器一体型 ■アナログ出力4-20mA/1-5VDC選択可能 ■ニードルバルブあり仕様であれば流量の制御も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
- 価格：応相談
サービス＆サポート
信頼できる製品、専門性の高いサービス！機器を“新品同様の状態”に再生します！
当社は、流量制御の深い知識、電気および機械工学の強力なバックグラウンド、 およびバイオテクノロジーの分野における制御システムの深い理解を持つ 経験豊富な技術サポートメンバーを擁しています。 数十年にわたる豊富な経験を有し、機器を“新品同様の状態”に再生。 機器校正サービスのエキスパートが、校正証明書を発行します。 お客様のサービスおよびインストールに関するご要望は、 お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■全ての修理には工場認定の新しい部品を使用 ■全ての修理サービスに対して保証期間がある ■機器校正サービスのエキスパートが、校正証明書を発行 ■グローバルなサービス拠点 ■デジタルプロトコルによるハードウェアのアップグレードが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ITWジャパン株式会社
- 価格：応相談
1種危険場所向け防爆マスフローメータ『EX-FLOWシリーズ』
国内防爆(TIIS)認証取得！堅牢設計で、危険場所でのガス流量測定や制御に！※カタログプレゼント中
『EX-FLOWシリーズ』は、1種危険場所でのガス流量測定向けに 堅牢設計された防爆タイプのガス用マスフローメータです。 本質安全防爆測定ヘッドは、ATEX/IECEx認証（Ex ib IIC T4 Gb）と TIIS認証（Ex ib IIC T4）を取得し、電装部ハウジングはIP65等級。 さらに、耐圧防爆タイプのエア駆動弁などとの組み合わせでマスフローコントローラも構成可能。 【主な適用例】 ■（石油）化学産業用プロセスガスの流量測定・制御 ■燃料電池技術 ■ガス分配システム ■水素化プロセス ■社内会計用ガス消費量測定・管理 ■暖房用・バイオガスの製造 ※詳しくはＰＤＦをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 ■関連ワード：水素防爆/本質安全防爆/耐圧防爆
- 企業：ブロンコスト・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
LOW-ΔP-FLOW低圧損・腐食性ガス用マスフローコントローラ
詰まりにくく、低圧損のマスフローメータ・コントローラです。腐食性ガスにも適合します。専用設計のセンサと層流素子を搭載しています。
LOW-ΔP-FLOWシリーズは、低圧損アプリケーション用にブロンコスト・ハイテックが開発したマスフローメータ/コントローラです。低圧損構造のセンサと層流素子を採用しており、低差圧での運転に最適です。 最小レンジ：0.2...10 mln/min 最大レンジ：20...1000 m3n/h 特徴 ・極低圧損 ・詰まりにくくパージし易い構造 ・工業仕様のハウジング(IP65)提供可能 低圧損マスフローコントローラLOW-ΔP-FLOWはコンパクト設計で、フローメータ、調節弁をワンボディーに収納された構成になっています。これらコンパクトモデルの最大流量キャパシティーは、運転条件にもよりますが、1...50 ln/min（空気ベース）になります。低差圧で大流量制御の場合は、圧力補償型ベローズバルブと低圧損タイプ流量計（コントローラ内蔵）との組合せで提供します。 さらに、機器はコンパクトな通信用PCBを追加することにより各種フィールドバスプロトコルに対応致します；DeviceNetTM, Profibus-DP(R), EtherCAT, Modbus又はFLOW-BUSプロトコル
- 企業：ブロンコスト・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
マスフローメータ 「LIQUI-FLOW mini」
液体用マイクロフルイディック・マスフローメータ
ブロンコストハイテックはマイクロフルイディックコンセプトに基き液体用のマスフローメータ(MFM)、LIQUI-FLOW miniを開発いたしました。 この大変コンパクトな計器は水ベースでなんと極微少流量1,5…75 mg/h (0,025…1,25 μl/min)から12…600 mg/hを正確に計測いたします。 ストレートな duplex steel センサー(W1.4462) は内容量が僅か1mm3以下で、サーマル計測原理で動作いたします。 【特徴】 ○流量レンジ 0-75mg/hから 0-600mg/h (水換算流量） ○超低流量レンジ用のサーマル式液体 ○アナログ / RS232出力 ○圧力定格最大1000bar 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：八洲貿易株式会社
- 価格：応相談
