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メタルガスフィルタ(流し) - 企業1社の製品一覧

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低圧力損失メタルガスフィルター

歩留まりを大幅に向上

(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 フィルター構成部材全てにSUS316Lを使用し、腐食や二次生成物の恐れがなく高耐熱性を発揮致します。窒素ガス(N2)をフィルターIN側圧力0.2MPaで流したときのOUT側圧力損失は△0.05MPaで90SLMの流量を実現しました。また、定常流・脈動下において濾過精度0.003μmをCNCで確認、サブミクロンULSI製造で歩留まりを大幅に向上致します。

  • 半導体検査/試験装置
  • CVD装置
  • ガスフィルタ

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