低圧力損失メタルガスフィルター
歩留まりを大幅に向上
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 フィルター構成部材全てにSUS316Lを使用し、腐食や二次生成物の恐れがなく高耐熱性を発揮致します。窒素ガス(N2)をフィルターIN側圧力0.2MPaで流したときのOUT側圧力損失は△0.05MPaで90SLMの流量を実現しました。また、定常流・脈動下において濾過精度0.003μmをCNCで確認、サブミクロンULSI製造で歩留まりを大幅に向上致します。
- 企業:株式会社ピー・ジェイ
- 価格:応相談