高精度XY軸リニアモーターステージV-P01(精密位置決め対応)
高速・高加速度を実現する3相リニアモータ搭載。高精度スキャンに対応
V-P01は、リニアモータ駆動による高精度・高安定性を誇るXYステージです。 最大100Nの負荷に対応し、高速・高加速度での移動を実現。 ±1µmの位置精度と0.1µmの最小インクリメンタルモーションで、AOI自動光学検査やスキャニング用途にも適しています。
- 企業:ピーアイ・ジャパン株式会社
 - 価格:応相談
 
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高速・高加速度を実現する3相リニアモータ搭載。高精度スキャンに対応
V-P01は、リニアモータ駆動による高精度・高安定性を誇るXYステージです。 最大100Nの負荷に対応し、高速・高加速度での移動を実現。 ±1µmの位置精度と0.1µmの最小インクリメンタルモーションで、AOI自動光学検査やスキャニング用途にも適しています。
■■位置決めステージ相談はHIWINへ■■様々な自動化ニーズに応用できる単軸位置決めリニアモーターステージのラインアップ
HIWINでは多様な位置決めステージをご用意しております。 多様な自動化ニーズに適応する単軸ステージ標準モデルでは、高速・高精度の直接駆動のリニアモーターを採用し、長ストローク用途にも対応します。さらにメタルカバーやダストジャケット、その他オプション部品により防塵ニーズにも対応。水平or垂直のケーブルベア対応で、配線もすっきりします。 すべて自社製のキーコンポーネント(リニアモーター・リニアガイド・ボールねじ・DDモーター・サーボモーターやドライバー)を用いており、高性能・コストパフォーマンスの良さでユーザの競争力を高めるお手伝いをいたします。 【SAシリーズ】コア付リニアモーター単軸ステージ 【LMCシリーズ】コアレスリニアモーター単軸ステージ 【LMTシリーズ】コアレス円筒型リニアモーター単軸ステージ 【SSA】単軸リニアモーターステージ/コスパモデル ○ 詳細はカタログをご覧になるか、お問合せください。
ナノメートル精度のポジショニングステージ。半導体検査装置、半導体製造装置に!
技術要件の厳しい半導体検査装置や半導体製造装置に応える ナノ精度の位置決めリニアモーターステージ。 位置決め安定性は±2nmで100mm/sでの高速安定性は±0.1%。 低床で安定した構造でハイエンドの精密検査装置などに好適。 モーションコントロールとシステムテクノロジーの開発・製造で 培った技術をあますことなく発揮し、これからのものづくりに貢献する高精度ステージです。
高速応答&高剛性ガイドで、サブミクロンの精密Z軸制御を実現
V-Z03は、ボイスコイルモータによるダイレクトドライブ方式で、高速かつ高精度なZ軸制御を実現。 高剛性クロスローラーガイドとリニアエンコーダにより、最小0.035µmの微細動作が可能。 最大荷重150Nに対応し、セルフロック機能や空圧カウンターバランスを搭載。 半導体製造や精密測定など、要求の厳しい分野で優れた性能を発揮します。