凹凸面対応のフォトレジストスプレーコーター装置『IS型シリーズ』
半導体・MEMS・センサーデバイスに最適！フォトレジストや機能材料の研究開発向け薄膜コーティング装置
『IS型シリーズ』は小型・軽量でラボテーブル上に設置できる薄膜コーティング装置です。 凹凸デバイスの段差面やエッジ部の形状に対応した薄膜コーティングを提供します。 立体（３Ⅾ）サブストレートのコーティングに最適条件の標準化が可能です。 また、特殊アトマイジング方式により、最適な微小粒子をコーティングします。 【コーティングの特長】 ■スピンコートで塗布可能な微細凹凸形状に、良好なコーティングが可能 ■ステップカバレッジの良好な薄膜コーティングが可能 ■100nm～100μmの膜厚形成が可能（フォトレジスト・FC触媒膜） ■効率75%と飛躍的に高い液使用効率（対比：スピンコートでは数%） ■数cc程度の少量の希少材料でもコーティングが可能 ■特殊間欠と筆安定塗布が可能（分散液・FC触媒液他） エーシングテクノロジーズでは機能薄膜コーティングのソリューションをご提案しています。 周辺技術のコンサルタントと研究支援を承っております。 ※下記、弊社HomePage内のお問合せページから、ご連絡・お尋ね・ご相談いただけます。
- 企業：株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所
- 価格：応相談
