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欠陥場所を拡大すると微小欠陥が見えてくる！検査装置の概要をご紹介します
当資料では、超広視野レーザ走査イメージャ欠陥検査装置の概要について ご紹介しています。 「欠陥検査装置とレーザ走査技術」をはじめ、「開発の経緯と独自技術の特長」 や「開発事例」などを掲載。 ぜひご一読ください。 【掲載内容】 1.欠陥検査装置とレーザ走査技術 2.開発の経緯と独自技術の特長 3.開発事例 4.外観検査市場の動向と当社の対応 5.現在使われているレーザ走査イメージャの例 6.応用、ユーザメリット ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
走査幅4mmで0.2μmレベルの欠陥を検出！標準型レーザ走査イメージャをご紹介
『LSM-4000シリーズ』は、顕微鏡でもなくCCDカメラでもない第3の観察装置です。 幅広な長い画像を撮ることができ、細かな欠陥検査に好適。 セラミックス等のマイクロクラック、異物の検出が可能です。 当シリーズの他、大型レーザ走査イメージャ「LSM-6000シリーズ」や小型 レーザ走査イメージャ「LSM-3000シリーズ」もラインアップしています。 【LSM-4000シリーズ 特長】 ■標準型レーザ走査イメージャ ■透明フィルム、サファイア、ガラス、セラミックスなど、数μmのキズや 異物の検出（2画面表示） ■スーパーバリアフィルム、ITO膜のリペアー部検出 ■セラミックス等のマイクロクラック、異物の検出可能 ■走査幅4mmで0.2μmレベルの欠陥を検出 ■走査レンズは交換可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野 従来比５倍高速・高解像度、超広視野共焦点型・高分解能１μｍ
超広視野共焦点型・高分解能１μｍ、微小欠陥検査レーザ走査イメージャ 従来の顕微鏡光学系やSEMなどは狭い領域を高解像度で観察できるが、広い領域を簡便に観察できない。この課題をレーザ走査イメージャが解決します。 50×50ｍｍ範囲を３Ｄ形状計測できる 計測時間：１μｍ分解能 約３５秒 5μｍ分解能 約１０秒 ●計測幅：0.8μｍ 深さ：５nm ●最大45度傾斜で、形状測定が可。 ●キズや深い穴の欠陥も検出可。 レーザ走査イメージャの特徴 ・従来の顧微鏡やCCDカメラやラインセンサの欠点を克服した 新しい観察装置(照明装置がいらない) ・広い観察領域(顕微鏡の１００倍以上)と長いWDを持つ新開発専用走査レンス ・コントラストの高いレーザ共焦点方式光学ユニット ・レーザ共焦点顕微鏡光学系では初のラスター走査方式(長く大きな画像で大面積の画像を取得できる、マルチスキャン機能搭載) ・概略仕様 走査分解能が高い(1走査最大20000点)走査スピード4000ライン/秒 レーザはLD405nmを使用(650、830nmもあり) ・パソコンモニター上で拡大画像が見られる始めての装置です
