比類なき高視野・高分解能な干渉型３Ｄレーザー走査顕微鏡
他に比類なき高視野・高分解能を実現した、干渉型３Ｄレーザー走査顕微鏡（視野域：３０ｘ５０ｍｍ・分解能：５０ｎｍ）
レーザ走査を用いた初めての干渉計測 光沢紙程度の反射で干渉縞が出現。干渉縞で50nｍの変化をとらえます ●倒立型レーザ走査干渉計（型番：LSMi-7000） サンプルをガラス面に置けば、簡単に干渉縞計測可能。 走査範囲は30ｍｍ×50ｍｍ、モニター上で拡大観察可能 セラミックスなどの細い傷、研磨不良、欠けなどが検査可能 干渉縞解析ソフトはオプション ●円筒用レーザ走査干渉計（型番：LSMi-7500） 円筒の全面で干渉縞を観察可能、円筒の精密検査が可能 ●正立型レーザ走査干渉計（型番：LSMi-8000） 非接触で微細な干渉縞計測可能。 交換レンズは、5ｍｍ、10ｍｍ、26ｍｍ走査レンズ、特注可能 通常の共焦点レーザ走査イメージャとしても使用できます これらを応用展開した機器 超広視野共焦点型・高分解能１μｍ 3D‐レーザ走査イメージャ 5×50ｍｍの範囲を３Ｄ形状計測できる ●45度までの傾斜があるものの形状測定が可能です ●キズや深い穴の欠陥も検出可能です ●円筒面の形状計測や画像取得も可能です
- 企業：株式会社ワイ・ドライブ
- 価格：500万円 ~ 1000万円
