不純物分析|GDMS(グロー放電質量分析)
GDMSは微量不純物(ppm-ppb wt)評価に適した手法、安定同位体を持つガス成分以外のほぼ全ての元素を同時に測定可能
GDMS(Glow Discharge Mass Spectrometry:グロー放電質量分析) は微量不純物(ppm-ppb wt)の評価に適した手法で、周期表上の安定同位体を持ちガス成分(*)を除くほとんどの元素を同時測定する事ができます。試料は導電性を持つものが好ましいですが、EAG Laboratoriesでは導電性試料だけではなく、半導体・絶縁物を安定に測定できる技術を保有しており、酸化物・窒化物・炭化物の中の不純物分析が可能です。
- 企業:受託分析|ユーロフィンEAG株式会社
- 価格:応相談