GDMSは微量不純物(ppm-ppb wt)評価に適した手法、安定同位体を持つガス成分以外のほぼ全ての元素を同時に測定可能
GDMS（Glow Discharge Mass Spectrometry：グロー放電質量分析） は微量不純物（ppm-ppb wt）の評価に適した手法で、周期表上の安定同位体を持ちガス成分（＊）を除くほとんどの元素を同時測定する事ができます。試料は導電性を持つものが好ましいですが、EAG Laboratoriesでは導電性試料だけではなく、半導体・絶縁物を安定に測定できる技術を保有しており、酸化物・窒化物・炭化物の中の不純物分析が可能です。
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基本情報
固体試料を陰極としてグロー放電を用いて試料表面をスパッタし、放出された中性粒子をプラズマ内のArや電子との衝突によってイオン化させ分析 ・周期律上で安定同位体を持つ殆どの元素(Li-U)の測定が可能 ・多くの元素に対し、ppb-%レベルの測定が可能 ・マトリックス効果が小さく、標準試料の無い未知の材料でも定量分析に近い半定量分析が可能 ・粉末、ワイヤー、薄膜等、様々な形態でも補助材料を用いる事で直接測定が可能 ・導電性を確保する事で、半導体材料や絶縁物でも直接測定が可能
価格帯
納期
用途／実績例
・高純度金属 ・合金 ・カーボン及び黒鉛製造品 ・各種半導体材料、パワーデバイス ・二次電池正極材原材料 ・酸化物・炭化物・窒化物・硫化物等のセラミックス ・太陽電池用シリコン ・レアメタル・レアアース ・主成分不確定な未知の材料
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企業情報
材料分析でお困りの方、お気軽にEAGまでご相談ください！ ●高品質分析 ●短納期 ●迅速対応 ユーロフィンEAG（略称：EAG）は、40年以上にわたり半導体産業、高純度金属、先端・ナノ材料分野で材料分析サービスを提供してまいりました。半導体デバイス・製造装置のプロセス開発、研究開発、品質保証に不可欠なSIMS分析（二次イオン質量分析法）やTEM/STEM分析（透過型電子顕微鏡分析）、そして高純度材料の不純物分析に用いるGDMS分析（グロー放電質量分析法）においては、長年の技術蓄積と迅速な納期対応でお客様のニーズにお応えします。