不織布パッド『Suba(TM)』
様々な用途にバランスよく対応する不織布ベースの研磨パッド
『Suba(TM)』は、原料にポリエステル繊維を使用しており、乾式法により成形した不織布にポリウレタンを含浸させた研磨パッドです。 主に、シリコンウェーハやサファイアウェーハ、酸化物ウェーハなどの 一次研磨・二次研磨用として優れた性能を発揮します。 また、エッジ研磨やノッチ研磨にも使用可能で、それぞれのプロセスに 応じた幅広い製品ラインナップを持っております。 【特長】 ■高研磨レート ■低欠陥性 ■高平坦性 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ニッタ・デュポン株式会社
- 価格：応相談
