6in・8inウエハ両用非接触ピンセット
6inと8inウエハを同じ非接触ピンセットにて掴むことができる
「6in・8inウエハ両用非接触ピンセット」(特許) 新しく気体垂直噴流方式を採用しております。 気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。 「6in・8inウエハ両用非接触ピンセット」のハンドルの先端の非接触搬送装置「フロートチャック」(特許)をハンドルを持つ手の操作により空気供給のON-OFFを行い、ウエハを非接触にて吸着し、脱着を行います。 ◎特徴 1.6inと8inウエハが同じピンセットでハンドリング出来る。 2.手操作である 3.傷・汚れの付着がない。 4.簡便である。 ◎適応 1.6inおよび8inウエハ (他のウエハ用も製作しております。) 2.ガラス基板 3.レンズ 4.チップ 5.太陽電池
- 企業:有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
- 価格:応相談