６ｉｎと８ｉｎウエハを同じ非接触ピンセットにて掴むことができる
「6in・8inウエハ両用非接触ピンセット」(特許） 新しく気体垂直噴流方式を採用しております。 気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。 「6in・8inウエハ両用非接触ピンセット」のハンドルの先端の非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）をハンドルを持つ手の操作により空気供給のＯＮ－ＯＦＦを行い、ウエハを非接触にて吸着し、脱着を行います。 ◎特徴 １．６ｉｎと８ｉｎウエハが同じピンセットでハンドリング出来る。 ２．手操作である ３．傷･汚れの付着がない。 ４．簡便である。 ◎適応 １．６ｉｎおよび８ｉｎウエハ （他のウエハ用も製作しております。） ２．ガラス基板 ３．レンズ ４．チップ ５．太陽電池
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基本情報
「6in・8inウエハ両用非接触ピンセット」(特許） 新しく気体垂直噴流方式を採用しております。 気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。 「6in・8inウエハ両用非接触ピンセット」のハンドルの先端の非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）をハンドルを持つ手の操作により空気供給のＯＮ－ＯＦＦを行い、ウエハを非接触にて吸着し、脱着を行います。 「6in・8inウエハ両用型非接触ピンセット」は、空気を噴出させることによりワークとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果により正圧にすることにより、ウエハを非接触にて懸垂保持する機能を有しております。
価格帯
納期
用途／実績例
高温ウエハ非接触ピンセット ウエハ非接触搬送 ウエハR&D ウエハ移載 ウエハCVD処理 ウエハエッチング処理
企業情報
当社にて発明、開発した垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）を用いたウエハ、液晶ガラス基板、ＰＤＰ、セラミック、プリント基板、ＦＰＣ基板、フィルム、紙、布等の非接触搬送装置および応用装置の製作。